CG-MLC6系列直寫光刻機(jī)是一款精巧型光刻產(chǎn)品。該設(shè)備采用數(shù)字光刻技術(shù)，無需掩模 版，能夠直接將版圖信息轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的襯底上。CG-MLC6系列功能靈活、體積小、性價(jià)比高，專為各高校、實(shí)驗(yàn)室及研究機(jī)構(gòu)量身打造。其主要應(yīng)用產(chǎn)品包括各類MEMS制作（如MEMS麥克風(fēng)、壓力傳感器、 加速度計(jì)、陀螺儀、超聲波傳感器、壓電傳感器）、掩模板制作等。