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目錄:賽默飛電子顯微鏡>>透射電子顯微鏡（TEM）>> 半導體計量透射電鏡 Metrios AX TEM

半導體計量透射電鏡 Metrios AX TEM
  • 半導體計量透射電鏡 Metrios AX TEM
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 FEI/賽默飛
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 上海市
屬性

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>

更新時間：2024-08-28 13:46:01瀏覽次數(shù)：650評價

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價格區(qū)間 面議 儀器種類 熱場發(fā)射
應用領域 環(huán)保,化工
半導體計量透射電鏡 Metrios AX TEM
全新設計，提供可重復的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具備計量能力的計量器。

半導體計量透射電鏡 Metrios AX TEM

用于半導體計量和工藝表征的高生產(chǎn)率透射電子顯微鏡

半導體計量透射電鏡 Metrios AX TEM主要特點

一致、可重復、精確

全新設計，提供可重復的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具備計量能力的計量器。

計量準確度

TEM 和 STEM 失真和放大率校正的組合誤差小于 0.75%。

自動化 EDS 和混合計量

通過自動化獲取和量化 EDS 數(shù)據(jù)。使用關鍵尺寸元件對比度來擴展 STEM。

工作流程連通性

通過樣品制備、提取和成像跟蹤關鍵工藝數(shù)據(jù)。計量可離線應用，從而極大增加工具采集時間。所有成像和計量數(shù)據(jù)均整合在基于網(wǎng)絡的圖像查看器中。

規(guī)格

高壓范圍 (kV)

60-200 kV

信息限度 200 kV (nm)

0.11


未校正

探頭校正*

STEM HAADF 分辨率 (nm) 200 kV

  • ≤ 0.164

  • ≤ 0.083

STEM HAADF 分辨率 (nm) 80 kV

  • ≤ 0.31

  • ≤ 0.11

用于水平和垂直的 MetroCal 晶片的計量精密度

  • ≤ 0.3 nm 3σ


電子源

  • X-CFEG 或 XFEG


超穩(wěn)定電子設備和高壓

  • 包含


隔音罩

  • 包含


恒定功率透鏡

  • 包含


壓電載物臺

  • 包含


探頭校正器兼容

  • 是




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