SHD6-BE 全柜式涂膠顯影一體機
- 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 SHD6-BE
- 產(chǎn)地 合肥
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/5/9 8:53:35
- 訪問次數(shù) 107
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二、產(chǎn)品工作描述
2.1工藝步驟
涂膠（放片、滴膠、旋轉(zhuǎn)、取片）→烤機（放片、烘烤、取片）→轉(zhuǎn)移下道工序（曝光）→顯影（放片、旋轉(zhuǎn)顯影和水洗、甩干、取片）→（轉(zhuǎn)移下道工序）。
2.2控制系統(tǒng)
控制系統(tǒng)由7寸觸摸屏和PLC控制模式，實時顯示設(shè)備運行過程中各工藝功能執(zhí)行情況。 可實現(xiàn)自由的配方編輯，自由修改、編輯、存儲、及調(diào)用工藝配方等。
三、規(guī)格
項目/Item | 規(guī)格 |
主體
| 外觀：不銹鋼 模組：勻膠、熱板、顯影； |
旋轉(zhuǎn)涂布模塊 | 轉(zhuǎn)速：20-5000 R.P.M 轉(zhuǎn)速精度: ±1 rpm 加速度：350-10000RPM/S 減速度：350-10000RPM/S 時間：1-3000S 均勻性:≤2% 控制方式: PLC 配方：50組20步 附件：無油真空泵 吸盤規(guī)格（10mm、25mm、2英寸、4英寸、6英寸以及嵌入式可選） |
烤膠模塊
| 溫度范圍:RT~300℃ 處理尺寸≤?200mm 溫度均勻性≤±1.5% 控溫精度±0.2℃ |
顯影參數(shù) | 處理樣品尺寸：6寸以內(nèi) 承盤:特氟龍 轉(zhuǎn)速：20-3000 R.P.M 轉(zhuǎn)速精度：±1RPM 搖臂：自動 藥液裝置：一路顯影、一路水 配方：可多步編程和程序存儲 附件：無油真空泵一臺； 吸盤一只（4、6寸兼容） |
四、系統(tǒng)需求
項目 | 描述& 規(guī)格 |
系統(tǒng)需求 | 排風(fēng):160 m3/h 真空:>-60 Kpa 壓縮空氣:5kg 氮氣/:3kg 水4*6mm 2.0Kgf/cm2 電壓：220V\50HZ |
五、設(shè)備尺寸
5.1尺寸&重量
參考尺寸：（寬*深*高）1600*800*2000mm
重量: 300KG
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