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參考價(jià): | ¥ 12000 |
訂貨量: | 1件 |
- MA-20 產(chǎn)品型號(hào)
- MIKASA/米卡薩 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問(wèn)次數(shù):22更新時(shí)間:2025-05-28 15:05:09
- 聯(lián)系人:
- 李科霖
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- 86-028-87319898
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- 19382020649
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- 地址:
- 四川省成都市高新區(qū)天府大道中段500-1號(hào)天祥廣場(chǎng)C座4527室
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- www.cosimoinc.com.cn
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對(duì)準(zhǔn)機(jī)(Alignment Machine)是精密制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,主要用于實(shí)現(xiàn)微米級(jí)甚至納米級(jí)精度的位置對(duì)準(zhǔn).
MIKASA米卡薩 對(duì)準(zhǔn)機(jī) MA-20
MIKASA米卡薩 對(duì)準(zhǔn)機(jī) MA-20
對(duì)準(zhǔn)機(jī)(Alignment Machine)是精密制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,主要用于實(shí)現(xiàn)微米級(jí)甚至納米級(jí)精度的位置對(duì)準(zhǔn)。它通過(guò)高精度視覺(jué)系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)和優(yōu)良算法,將兩個(gè)或多個(gè)工件精確對(duì)準(zhǔn)到預(yù)定位置關(guān)系,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、顯示面板生產(chǎn)、精密電子組裝等領(lǐng)域。
根據(jù)工作原理,對(duì)準(zhǔn)機(jī)主要分為:
光學(xué)對(duì)準(zhǔn)機(jī)
機(jī)械式對(duì)準(zhǔn)機(jī)
激光對(duì)準(zhǔn)機(jī)
混合式對(duì)準(zhǔn)機(jī)
按應(yīng)用場(chǎng)景可分為:
晶圓對(duì)準(zhǔn)機(jī)
面板對(duì)準(zhǔn)機(jī)
芯片貼裝對(duì)準(zhǔn)機(jī)
精密組裝對(duì)準(zhǔn)機(jī)
對(duì)準(zhǔn)機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域
1. 半導(dǎo)體制造
晶圓光刻對(duì)準(zhǔn)
芯片封裝對(duì)準(zhǔn)
3D IC堆疊
2. 顯示面板行業(yè)
LCD/OLED面板貼合
觸控面板組裝
微LED轉(zhuǎn)移
3. 精密電子
攝像頭模組組裝
傳感器封裝
MEMS器件制造
4. 光學(xué)器件
透鏡組對(duì)準(zhǔn)
光纖耦合
激光器組裝
5. 其他領(lǐng)域
生物芯片制備
微流控器件組裝
精密機(jī)械零件裝配
對(duì)準(zhǔn)機(jī)作為制造的核心裝備,其技術(shù)水平直接決定了精密產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。隨著半導(dǎo)體特征尺寸不斷縮小、顯示技術(shù)持續(xù)升級(jí),對(duì)準(zhǔn)機(jī)正朝著更高精度、更高效率、更智能化的方向發(fā)展。未來(lái),新一代對(duì)準(zhǔn)技術(shù)將在優(yōu)良封裝、微顯示等前沿領(lǐng)域發(fā)揮關(guān)鍵作用,推動(dòng)"中國(guó)智造"向更高水平邁進(jìn)。
■ 手動(dòng)型接觸式掩模對(duì)準(zhǔn)器。
■ 可用于尺寸不規(guī)則的基板、硅、玻璃、化合物、薄膜等各種材料。
■ 根據(jù)您的預(yù)算和應(yīng)用,我們提供三種類型的曝光
光源:準(zhǔn)直器型、多鏡型和積分器型。
■ 我們有支持最大 5×5mm~100×100mm 和 φ6 英寸的基板的型號(hào)。
■ 更換面罩架和標(biāo)本臺(tái)很容易,使其成為研發(fā)應(yīng)用的理想選擇。
最大板尺寸 | φ4 英寸 | 顯微分辨率 | 使用 20× 1.2μm 物鏡時(shí) |
最大基板厚度 | 2 毫米 | ||
最大蒙版尺寸 | 5×5 英寸 | 對(duì)準(zhǔn) 間隙測(cè)量功能 | 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備 |
紫外線燈房 | 多鏡像類型 | ||
光 | >14mW/c㎡(405nm) | 縱器 移動(dòng)范圍 | X?Y±5mm 微調(diào) 1/8mm1 旋轉(zhuǎn) θ: 70° 微調(diào) ± 7° Z : 4mm (氣動(dòng)驅(qū)動(dòng) 1mm / 粗 調(diào) 3mm) 微調(diào) 0.16mm |
照度均勻性 | <±4.0% | ||
曝光光源 | 紫外線燈 500W | ||
橫向移動(dòng)舞臺(tái) 移動(dòng)范圍 | X/Y±20 毫米 | ||
曝光波長(zhǎng) | 寬帶(G、H 和 I 線) | ||
曝光定時(shí)器 | 0~999.9 秒定時(shí)器設(shè)定型 1~9999 計(jì)數(shù) 累積光強(qiáng)計(jì)數(shù)器型 切換方式 | 氣體力學(xué) | 掩模載物臺(tái)/ 顯微鏡驅(qū)動(dòng) 0.5MPa |
氮 | N2 放大時(shí):0.5MPa | ||
UV 燈 劣化校正功能 | 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備 | 真空 | 掩模和基材吸附 -0.08 MPa |
如何聯(lián)系我們 | 軟 接觸 / 硬接觸 | 隔振臺(tái) | 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備 |
權(quán)力 | AC100~110V 50/60Hz 20A | ||
對(duì)齊范圍 | 雙場(chǎng)顯微鏡 物鏡間距 18~60mm | 尺寸 (mm/含隔振臺(tái)) | 1000 瓦×1300 ×800 分 |
重量 | 290 公斤 |