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MU1200XEKASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵
| 參考價(jià): | ￥ 12000 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MU1200XE 產(chǎn)品型號(hào)
- KASHIYAMA/日本 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：28更新時(shí)間：2025-05-26 15:13:55
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指無需任何工作液（如油或水）作為介質(zhì)，依靠機(jī)械結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)抽真空的一類真空獲得設(shè)備。
產(chǎn)品介紹
KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵 MU1200XE
KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵 MU1200XE
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指無需任何工作液（如油或水）作為介質(zhì)，依靠機(jī)械結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)抽真空的一類真空獲得設(shè)備。這類泵通過精密配合的機(jī)械部件直接壓縮和排出氣體，解決了傳統(tǒng)油封式或液環(huán)式真空泵存在的介質(zhì)污染問題。干式真空泵的發(fā)展始于20世紀(jì)80年代，隨著半導(dǎo)體、光伏等潔凈工業(yè)的需求而快速進(jìn)步，現(xiàn)已成為高科技制造領(lǐng)域不可替代的關(guān)鍵設(shè)備。
干式真空泵的典型應(yīng)用
（一）半導(dǎo)體制造
晶圓加工：刻蝕、CVD、PVD工藝
離子注入：束線系統(tǒng)真空維持
光刻機(jī)：EUV光源腔體抽真空
（二）平板顯示行業(yè)
OLED蒸鍍：高純真空環(huán)境建立
LCD制造：液晶灌注系統(tǒng)
觸摸屏生產(chǎn)：真空貼合工藝
（三）光伏產(chǎn)業(yè)
太陽能電池：PECVD工藝
薄膜電池：真空鍍膜系統(tǒng)
組件封裝：層壓機(jī)抽真空
（四）科研領(lǐng)域
同步輻射：光束線真空系統(tǒng)
電鏡系統(tǒng)：樣品室抽真空
空間模擬：環(huán)境模擬艙抽氣
（五）其他應(yīng)用
醫(yī)療設(shè)備：質(zhì)子治療加速器
鋰電池制造：極片干燥系統(tǒng)
食品包裝：無菌包裝生產(chǎn)線
| 規(guī)格/型號(hào) | MU100XE | MU180X | MU300XE | MU600XE | MU1200XE |
| 最大抽速 [L/min] *1 *5 | 1,660 | 3,000 | 5,000 | 10,000 | 20,000 |
| 極限壓力 [Pa] *1 | 1.5 | 0.5 | |||
| 電源電壓 （50/60Hz） | 三相 AC200~220V *2 | ||||
| 功耗 [kW] *3 | 0.25 | 0.5 | 0.45 | 0.5 | 0.6 |
| 外形尺寸 [mm] 長(zhǎng)×寬×高 *4 | 450×230×275 | 550×280×299 | 450×230×520 | 530×230×520 | 625×275×580 |
| 重量 [kg] | 60 | 95 | 100 | 120 | 165 |
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