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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1-5千 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
低泄漏流量測量控制用，該裝置是配有波紋管密封針閥的流量計，設計用于承受高真空，高壓，高溫，有毒氣體等的使用。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 浮子流量計
KOFLOC科賦樂 浮子流量計
所有產品均使用氦氣檢漏儀進行泄漏檢測，因此具有高度可靠的泄漏檢測能力。
因為是波紋管密封型裝置，不存在針閥軸泄漏的可能性。
流體接觸部分的材料只使用SUS316、氟樹脂、氟橡膠和硬質玻璃，因此具有優(yōu)異的耐腐蝕性
具有高精度再現(xiàn)性和穩(wěn)定性的流量計，由采用精密模塑的三氟甲磺酸酯、肋導向流量計管和超精密球組成，裝設有流暢流量特性的精密針閥。
用途
用于真空設備
用于半導體生產線
技術優(yōu)勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 氣體 | 流體 | ||
|---|---|---|---|
| 流體名稱 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（實際氣體校準） 其他氣體在轉換后進行校準，實際氣體校準請另行咨詢 ※選項：2種流體刻度 | 標準流體（H2O） 其他氣體在轉換后進行校準 （但是，會產生與實際液體的誤差。） | |
| 流量范圍 | 0.5~5 ML / MIN至3~30 L / MIN（參考容量列表） ※選項：0.5~3ML / MIN | 0.5~5ML / MIN至0.1～1L / MIN（參考容量列表） ※選項：0.5~3ML / MIN | |
| 精度 | FS±2％（計量點）※選項：FS±1％（計量點） | FS±2％（計量點） | |
| 耐壓 | 100ML / MIN以下：1.0MPa 5L / MIN以下：0.7MPa 10L / MIN以上：0.5MPa | 5ML / MIN以下：1.0MPa 150ML / MIN以下：0.7MPa 200ML / MIN以上：0.5MPa | |
| 有效刻度 | 10：1 ※選項20：1 | ||
| 材質 | SS制 | |
|---|---|---|
| 主體區(qū)塊 | SUS316 | |
| 錐形管 | 硬玻璃 | |
| 密封材料 | 氟橡膠 | |
| 浮標 | 硬質玻璃，SUS316 | |
| 保護罩 | 丙烯 | |
| 最高使用溫度 | 60℃ | |
| 連接端口 | 1 / 4F 900（標準），1/8 F 900（可選），1/4 UJR（選項）* O形密封圈的標準規(guī)格（可選配焊接密封） | |
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