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EX-700KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計(jì)
參考價(jià): 8000
訂貨量: 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • EX-700 產(chǎn)品型號
  • KOFLOC/科賦樂 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):34更新時(shí)間:2025-05-21 09:10:33

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 其他
價(jià)格區(qū)間 5千-1萬 介質(zhì)分類 氣體&液體
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計(jì)
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設(shè)備制造商,成立于1958年,專注于質(zhì)量流量計(jì)(MFM)、質(zhì)量流量控制器(MFC)和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn),產(chǎn)品以高精度、低壓損、長壽命著稱,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹

KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計(jì)


KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計(jì)

EXE-FLOWTM以Exact“正確的流量測量"優(yōu)秀我們已經(jīng)將“優(yōu)秀功能"概念商業(yè)化。

有11種標(biāo)準(zhǔn)庫存,涵蓋從小流量(F.S.10 sccm)到大流量(F. S. 200 slm)。

配備新型高性能傳感器的低成本型號

體積小,重量輕,單電源DC24V驅(qū)動

配備RS-485通訊功能標(biāo)準(zhǔn)

符合RoHS,CE標(biāo)準(zhǔn)

集成指示燈操作簡單

•瞬時(shí)•累積流量顯示 •氣體類型轉(zhuǎn)換 •CF任意設(shè)置

•上下限報(bào)警設(shè)置 •流量單位變更 •低頻截止設(shè)置

•局號設(shè)置 •通訊傳輸速度變更 etc


技術(shù)優(yōu)勢

熱式技術(shù)(氣體):

基于熱擴(kuò)散原理,直接測量氣體質(zhì)量流量(無需溫壓補(bǔ)償)。

低流量靈敏度:可檢測0.1 sccm(如半導(dǎo)體工藝氣體控制)。

壓差式技術(shù)(液體):

通過層流元件產(chǎn)生壓差,線性輸出流量信號。

耐腐蝕設(shè)計(jì):接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。

智能功能:

數(shù)字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。

自診斷報(bào)警(流量超限、傳感器異常)。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造

案例:晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制(RK-1200系列)。

要求:流量穩(wěn)定性±0.5%,響應(yīng)時(shí)間<1秒。

配置:鈦合金流道(耐Cl?腐蝕)+ 防爆認(rèn)證(Ex d IIC T6)。

光伏產(chǎn)業(yè)

案例:硅烷(SiH?)氣體輸送(MFC-3000系列)。

挑戰(zhàn):硅烷易燃易爆,需杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)。

方案:全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。

化工流程

案例:腐蝕性液體(如鹽酸)定量添加(RK-2400系列)。

材質(zhì)選擇:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。

傳感器方式熱繞組傳感器
流量范圍(N2)10/50/100/500 SCCM 1/5/10/20 SLM50/100/200 SLM
可指定氣體(* 1)N2(空氣,H2,He,Ar,O2,CO2等/通過CF轉(zhuǎn)換切換)N2(空氣切換,Ar / CF轉(zhuǎn)換)
響應(yīng)2秒以內(nèi)
精度(* 2)±1.0%F.S. (25℃)±1.5%FS(25°C)
溫度系數(shù)±0.2%F.S./℃ (15~35℃)  ※200SLMのみ±0.4%F.S./℃
再現(xiàn)性±0.2%F.S.
耐壓980kPa(G)
允許周圍溫度5~50℃
允許保管溫度-10~60℃
允許工作濕度10~90%RH (無結(jié)露)
氣體接觸材料SUS316,SUS316L,PTFE,F(xiàn)KM(可選NBR,CRP)
電氣連接DC插孔或Dsub 9針公頭
數(shù)字通信RS 485(MODBUS協(xié)議,RTU模式)ID:1-247
所需電源(DC)24VDC(±10%) 100mA以下
接頭1/4F900(標(biāo)準(zhǔn))3/8F900(標(biāo)準(zhǔn))
控制針(可選)MODEL2412MODEL2412D
安裝姿勢推薦水平方向
輸出輸出方式NPN開集 2點(diǎn)(最大額定值:DC30V 50mA)
輸出數(shù)量2點(diǎn)(每個輸出可以選擇并設(shè)置為瞬時(shí)流量上限,下限,上限/下限或積分到達(dá),積分脈沖也可以在1點(diǎn)選擇。)輸出反轉(zhuǎn)是可能的
活動展示LED燈(OUT1,OUT2)亮起
模擬輸出(* 4)①4~20mA (500Ω以下)?、?~5V (10kΩ以上)?、?~5V (10kΩ以上)
重量約600g (不含接頭)約700g (不含接頭)







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