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TG420MIOsaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
參考價: 6250
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • TG420MI 產(chǎn)品型號
  • OSAKA大阪真空 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):89更新時間:2025-03-31 14:58:27

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產(chǎn)品簡介
應用領域 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
對于易發(fā)生反應產(chǎn)物積累的器件,該系列采用我們特創(chuàng)的保溫結構和自熱機構,顯著降低反應產(chǎn)物的沉積速率。
產(chǎn)品介紹

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵

省電設計,運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器,也可以傳輸數(shù)據(jù)。

各種通信規(guī)格:并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT

國際標準:NRTL/SEMI-S2/CE


Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵


用于反應產(chǎn)物的 TG-MI 系列渦輪分子泵的特點


對于易發(fā)生反應產(chǎn)物積累的器件,該系列采用我們特創(chuàng)的保溫結構和自熱機構,顯著降低反應產(chǎn)物的沉積速率。

傳統(tǒng)的方法是加熱整個周圍區(qū)域

,包括反應產(chǎn)物的目標部分

對策,并分散熱量。

?無法有效使用。

?對目標區(qū)域以外的區(qū)域的熱效應


TG-MI系列采取的措施

除了通過外部加熱器提高溫度外,還可以有效地利用泵內部產(chǎn)生的吸入氣體的摩擦熱,有效地提高氣體接觸部分的溫度

,減少外部加熱器的輸出功率,提高節(jié)能效果!

?減少對主要部件的熱影響,減少對泵的損傷。

?排氣管也采用隔熱材料。 保持最佳溫度并防止產(chǎn)品在排氣管中形成。


結構與工作原理

(1)核心組件

轉子葉片:多級鋁合金或鈦合金渦輪葉片(轉速約20,000~90,000 RPM)。

定子葉片:與轉子交錯排列,形成氣體通道。

電機:高頻交流電機或磁懸浮軸承電機(避免機械磨損)。

排氣口:連接前級泵(如旋片泵),排出壓縮后的氣體。

(2)工作原理

動量傳遞:高速旋轉的葉片撞擊氣體分子,使其向下級運動(分子流態(tài)下有效)。

壓縮比:每級葉片對氣體進行壓縮,最終由前級泵排至大氣。

工作壓力范圍:依賴分子流狀態(tài)(需氣體分子平均自由程>葉片間距)。

?? 注:渦輪分子泵在**分子流態(tài)(壓力<10?1 Pa)**下效率高,需避免大氣壓下啟動(會過熱損壞)。



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