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MM-3452LLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià): | ￥ 25130 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MM-3452L 產(chǎn)品型號(hào)
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：61更新時(shí)間：2025-03-28 14:47:13
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3452L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3452L
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對(duì)流量進(jìn)行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準(zhǔn)地對(duì)流體進(jìn)行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
1. 半導(dǎo)體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms）
4. 科研實(shí)驗(yàn)：
催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）
| 溫度 | 壓力規(guī)格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補(bǔ)慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當(dāng)氣體未流入時(shí)。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會(huì)產(chǎn)生電力對(duì)Ru及Rd進(jìn)行加溫。
產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)
材料兼容性：
流道材料可選316L不銹鋼、哈氏合金、PTFE等
通過(guò)NACE MR0175酸性環(huán)境認(rèn)證
智能功能：
自診斷功能（傳感器異常、閥體卡滯預(yù)警）
多氣體/多量程自動(dòng)切換（最多支持8種氣體參數(shù)存儲(chǔ)）
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