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EV-M20NEBARA荏原 耐腐蝕耐酸堿真空泵
| 參考價: | ￥ 25936 |
| 訂貨量: | 1臺 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- EV-M20N 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：92更新時間：2025-03-26 16:45:01
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產(chǎn)品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 抽氣量 | 看型號 |
|---|---|---|---|
| 抽氣速率 | 看說明l/s | 電壓 | 100V |
| 功率 | 0.4kW | 極限壓力 | 看參數(shù)pa |
| 流量 | 0.2m3/h | 排出口徑 | 1mm |
| 輸送介質(zhì) | 其他 | 外形尺寸 | 230X450X274 |
| 揚程 | 1m | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 | 重量 | 60kg |
| 最大工作壓強 | 0.55 |
?半導(dǎo)體工業(yè)?：在半導(dǎo)體制造中，渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備。由于半導(dǎo)體工藝需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，渦輪分子泵通過高效抽氣，確保工藝過程中的高真空度，從而保障半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率?。
產(chǎn)品介紹
EBARA荏原 耐腐蝕耐酸堿真空泵
EBARA荏原 耐腐蝕耐酸堿真空泵
干式真空泵通過機械運動直接壓縮和排出氣體，無需液體介質(zhì)，避免油污染問題。其核心結(jié)構(gòu)類型包括：
螺桿式雙螺桿結(jié)構(gòu)：一對等速反向旋轉(zhuǎn)的螺桿轉(zhuǎn)子，通過阿基米德螺旋線與擺線輪廓設(shè)計形成密閉腔體，實現(xiàn)氣體的連續(xù)吸入與排出?13。
間隙控制：螺桿與泵腔保持微米級間隙，減少摩擦損耗，支持高轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)（可達(dá)6000 rpm），提升抽氣效率。
?多級羅茨式??多級串聯(lián)設(shè)計?：采用多級羅茨葉片轉(zhuǎn)子，通過逐級壓縮提高極限真空度（可達(dá)10?2 Pa），適用于含粉塵或腐蝕性氣體的環(huán)境?56。
?無接觸嚙合?：轉(zhuǎn)子間無物理接觸，通過同步齒輪驅(qū)動，降低磨損并延長使用壽命。
渦旋式動靜渦旋盤嚙合：通過漸開線型渦旋盤形成連續(xù)壓縮腔，實現(xiàn)無油、低振動運行，極限真空度達(dá)10?1 Pa，適用于實驗室和小型設(shè)備。
二、性能優(yōu)勢與創(chuàng)新技術(shù)
?無污染與耐腐蝕性?采用全密封結(jié)構(gòu)（如陶瓷涂層、不銹鋼材質(zhì)），防止?jié)櫥瓦M(jìn)入泵腔，確保半導(dǎo)體制造、食品加工等場景的潔凈度?34。
特殊防腐處理（如鍍鎳或PTFE涂層）的泵體，耐受酸性氣體（如Cl?、H?S）和有機溶劑。
智能控制與能效優(yōu)化?集成變頻調(diào)速系統(tǒng)，根據(jù)負(fù)載動態(tài)調(diào)節(jié)電機功率，能耗降低20%以上。
傳感器實時監(jiān)測溫度、振動等參數(shù)，結(jié)合物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)實現(xiàn)遠(yuǎn)程故障預(yù)警和維護(hù)提示。
模塊化與擴(kuò)展性支持多級串聯(lián)或并聯(lián)，抽速范圍覆蓋10–1000 m3/h，可適配不同真空需求（如半導(dǎo)體前級泵需搭配分子泵使用）。
快速拆卸設(shè)計，更換核心部件（如轉(zhuǎn)子、密封件）耗時縮短至2小時內(nèi)，減少停機損失。
三、典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造刻蝕與沉積工藝：在等離子體刻蝕（如反應(yīng)離子刻蝕）中抽除腐蝕性氣體?
?結(jié)構(gòu)?：活塞在氣缸內(nèi)往復(fù)運動，配以閥門控制氣流。
?工作流程?：活塞后移時吸氣，前移時壓縮氣體并排出。
?特點?：可達(dá)到較高真空度，但振動較大。
?半導(dǎo)體工業(yè)?：在半導(dǎo)體制造中，渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備。由于半導(dǎo)體工藝需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，渦輪分子泵通過高效抽氣，確保工藝過程中的高真空度，從而保障半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率?。
?光學(xué)工業(yè)?：在光學(xué)工業(yè)中，渦輪分子泵用于真空鍍膜、真空燒結(jié)、真空蒸發(fā)等工藝。其高真空度、低噪音、低震動的特點，使得光學(xué)鍍膜等工藝得以高質(zhì)量完成?。
?醫(yī)藥工業(yè)?：在醫(yī)藥工業(yè)中，渦輪分子泵主要應(yīng)用于真空干燥、真空蒸餾、真空濃縮等工藝。通過維持高真空度，有效避免藥品的氧化和變質(zhì)，確保藥品的質(zhì)量和安全性?。
?食品工業(yè)?：在食品工業(yè)中，渦輪分子泵用于真空包裝、真空蒸煮等工藝。它能夠快速抽取食品包裝內(nèi)的氧氣，延長食品的保質(zhì)期，同時保持食品的原有口感?。
?化工工業(yè)?：在化工工業(yè)中，渦輪分子泵廣泛應(yīng)用于真空蒸餾、真空干燥、真空濃縮等關(guān)鍵工藝。高真空度的維持對于避免化工產(chǎn)品的氧化和變質(zhì)至關(guān)重要，渦輪分子泵的高效性能為化工生產(chǎn)提供了有力保障?。
?高能物理研究?：在高能物理研究中，渦輪分子泵用于加速器質(zhì)譜系統(tǒng)等設(shè)備中，創(chuàng)造高真空環(huán)境，以確保粒子加速和檢測的準(zhǔn)確性?。
?其他領(lǐng)域?：渦輪分子泵還廣泛應(yīng)用于鍍膜、電子、太陽能、真空爐、離子刻蝕、光盤制造、制燈、航空航天、核能源等相關(guān)行業(yè)和教學(xué)、科研單位。
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