中科科儀場發(fā)射掃描電子顯微鏡
簡介
KYKY-EM8010 場發(fā)射掃描電子顯微鏡 低電壓下能夠保持較好的亮度和較高的分辨率，標(biāo)配光學(xué)導(dǎo)航功能，觀測更便捷。
產(chǎn)品介紹
KYKYEM8010 低電壓下能夠保持較好的亮度和較高的分辨率，束流穩(wěn)定度高、色散小，適宜長時間的各種精確分析，一鍵standby功能，維護(hù)更方便，軟件操作簡便，提升用戶使用體驗(yàn)。為科研高校、生命科學(xué)，新能源等領(lǐng)域客戶提供穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品解決方案。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 1.5nm@15Kv (SE)，3nm@30kV (BSE)
2. 低加速電壓保持較好的亮度和分辨率
3. 低加速電壓不導(dǎo)電樣品可直接觀測，無需噴金
4. 肖特基電子槍亮度高、單色性好、電子束斑小、壽命長
5. 束流穩(wěn)定度高，色散小，適宜于長時間的各種精確分析
6. 一鍵standby 維護(hù)更方便
7. 具備光學(xué)導(dǎo)航，快速樣品定位
技術(shù)指標(biāo)：
分辨率 ：1.5nm@15KV（SE）； 3nm@30KV（BSE）
放大倍數(shù)： 光學(xué)放大倍數(shù)4-100倍；電子學(xué)放大8-800000倍
電子槍： 肖特基熱場發(fā)射電子槍
加速電壓： 0.2～30kV
自動調(diào)整功能： 聚焦，亮度/對比度、消像散、電子束對中
探測器： 高真空二次電子探測器；紅外CCD攝像頭；一體化背散射探測器；光學(xué)導(dǎo)航探測器
樣品臺： 五軸全自動中型樣品臺行程： X=80mm,Y=50mm,Z=30mm，T=-5°～+70°,R=360°
最大樣品直徑: Ф175mm；最大樣品高度：20mm;樣品臺具有碰撞報(bào)警功能。
選配探測器： BSE、EDS、EBSD、CL、EBIC等
中科科儀場發(fā)射掃描電子顯微鏡應(yīng)用領(lǐng)域
氧化亞硅
高分辨率的電子顯微鏡
場發(fā)射掃描電鏡(FESEM)是一種用于高分辨率表面形貌觀察和化學(xué)成分分析的電子顯微鏡?。它利用二次電子成像原理，通過在低電壓下觀察生物樣品如組織、細(xì)胞、微生物以及生物大分子等，獲得忠實(shí)原貌的立體感強(qiáng)的樣品表面微形貌結(jié)構(gòu)信息?。
FESEM具有高分辨率，能夠進(jìn)行各種固態(tài)樣品表面形貌的觀察，并且配備高性能X射線能譜儀，可以進(jìn)行樣品表層的微區(qū)點(diǎn)線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌和化學(xué)組分綜合分析能力?。
場發(fā)射掃描電鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡，其基本原理是利用電子束與樣品表面相互作用，通過探針掃描來獲取樣品表面的形貌和微觀結(jié)構(gòu)信息。場發(fā)射掃描電鏡在納米材料、生物醫(yī)學(xué)、電子元器件等領(lǐng)域的應(yīng)用廣泛，可以觀察到樣品表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，對樣品的成分、形貌、微觀結(jié)構(gòu)等進(jìn)行分析。
場發(fā)射掃描電鏡在納米材料領(lǐng)域的應(yīng)用廣泛，可以對納米材料的微觀結(jié)構(gòu)和形貌進(jìn)行觀察和分析。例如，在納米材料的制備過程中，可以利用場發(fā)射掃描電鏡觀察到納米材料的形貌和大小，從而對納米材料的性質(zhì)和應(yīng)用進(jìn)行研究。
場發(fā)射掃描電鏡在電子元器件領(lǐng)域的應(yīng)用主要是觀察微電子器件的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，可以幫助工程師更好地了解微電子器件的性能和特點(diǎn)。例如，在微電子器件的制造過程中，可以利用場發(fā)射掃描電鏡觀察微電子器件的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，從而對微電子器件的性能和可靠性進(jìn)行評估。
綜上所述，場發(fā)射掃描電鏡憑借其好的性能和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，在科研和工業(yè)制造中發(fā)揮著越來越重要的作用。
場發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用領(lǐng)域
場發(fā)射掃描電鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、無機(jī)非金屬材料及器件、納米材料、生物樣品(如組織、細(xì)胞、微生物及生物大分子)等的檢測和分析。
場發(fā)射掃描電鏡是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的分析儀器，?它主要用于觀察和分析材料的表面形貌和微區(qū)成分。?場發(fā)射掃描電鏡具有高分辨率，?能夠在低加速電壓下觀察絕緣或?qū)щ娦圆畹臉悠罚?這對于研究納米材料等方向有用。?此外，?場發(fā)射掃描電鏡還配備了X射線能譜儀，?可以在觀察樣品表面微觀形貌的同時進(jìn)行微區(qū)成分定性、?定量、?元素分布以及相分析，?是研究納米材料等方向的有力工具。?
在使用場發(fā)射掃描電鏡時，需要注意其運(yùn)行環(huán)境條件的控制，包括溫度、濕度、震動、磁場強(qiáng)度等因素。同時，還需定期檢查和維護(hù)電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等核心部件，以確保設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和長壽命。此外，對于燈絲等易損件需及時更換并正確維護(hù)，以避免對實(shí)驗(yàn)結(jié)果的影響。
場發(fā)射掃描電鏡的特點(diǎn)包括：?
高分辨率：?二次電子分辨率在1.0nm至2.0nm之間，?這有助于觀察材料的細(xì)微結(jié)構(gòu)。?
寬放大倍數(shù)范圍：?從×20至×800,000，?適應(yīng)不同尺度下的觀察需求。?
冷陰極場發(fā)射電子源，?提供穩(wěn)定的電子束流。?
靈活的加速電壓范圍：?從0.5kV至30kV，?可根據(jù)樣品特性進(jìn)行調(diào)整。?
配備X射線能譜儀，?進(jìn)行微區(qū)成分分析。?
此外，?場發(fā)射掃描電鏡還具有在低真空或充入特定氣體條件下進(jìn)行觀察的能力，?這使得它能夠直接觀察含水、?含油及不導(dǎo)電樣品，?而無需進(jìn)行特殊處理。?通過向樣品室充入水蒸氣，?可以在不破壞樣品的情況下進(jìn)行觀察。?此外，?場發(fā)射掃描電鏡還可以對樣品進(jìn)行加溫和降溫處理，?實(shí)時觀測化學(xué)反應(yīng)過程，?廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、?生命科學(xué)、??地質(zhì)、?有機(jī)化學(xué)等多個領(lǐng)域的研究和分析。?
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