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日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 安全密閉結(jié)構(gòu)

參   考   價: 8653

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號HR90

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-07-02 10:57:09瀏覽次數(shù):330次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 1千-2千
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合
日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 安全密閉結(jié)構(gòu)
通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 安全密閉結(jié)構(gòu)

日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 安全密閉結(jié)構(gòu)


通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點

  • 高溫區(qū)域均熱化
    實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
    UR系列可比HR系列更加高溫化。

  • 氦氣密封
    通過搭載屏蔽電動機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),非常安全。

  • 瞬停對策
    采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。

  • 通信功能
    可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計算機(jī)通信,則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

  • CVD裝置

  • 蝕刻裝置

  • 灰化裝置

  • ALD、ALH 等

規(guī)格

型號HR60HR90HR300HR600HR1200
使用泵干式真空泵HR60HR90HR60HR90HR90
機(jī)械增壓泵--PRC-003APRC-006APRC-012A
最大
排氣速度
50Hzm3/h
(L/min)
62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
60Hzm3/h
(L/min)
80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
到達(dá)壓力Pa50.67
最大排氣壓力
(吸入圧力)

大氣壓 *1
最大排氣壓力
(吸入圧力)
Pa1~ 大氣壓
吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG80(KF80)VG100(KF100)
排氣口KF40
質(zhì)量kg180245275370420
電源三相VAC
(Hz)
200(50/60), 220(60)
電流值穩(wěn)定時A7.1
(at 200V)
11.2
(at 200V)
7.8
(at 200V)
12.9
(at 200V)
15.4
(at 200V)
最大值A7.3
(at 200V)
11.8
(at 200V)
8.1
(at 200V)
13.8
(at 200V)
18.9
(at 200V)
冷卻水一次圧力MPa0.1~0.3
冷卻水出入口壓差MPa>0.1
冷卻水流量L/min>5.0
吹掃氣一次壓力MPa0.1~0.5
二次壓力MPa0.05~0.1
N2吹掃SLM5
氣鎮(zhèn)SLM0~45

*1 HR300、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運轉(zhuǎn)。






ULVAC 廠商介紹:

1952 年 ULVAC 成立時,它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險投資公司,他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)"。

自成立以來,ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件,以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備,ULVAC接受了利用技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。


追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價值

ULVAC集團(tuán)是一家企業(yè)集團(tuán),為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù),包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團(tuán)內(nèi),零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。

通過與客戶的溝通,共創(chuàng)繁榮的未來

ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。


盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大,但其冒險精神始終沒有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團(tuán)的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求,為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。


零部件事業(yè)部

ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部

愛發(fā)科機(jī)工株式會社

愛發(fā)科低溫有限公司

愛發(fā)科(寧波)有限公司

韓國愛發(fā)科低溫公司

愛發(fā)科低溫技術(shù)(寧波)有限公司

愛發(fā)科銷售有限公司

愛發(fā)科科技有限公司








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