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這款微加工系統(tǒng)使用ns/ps級(jí)脈沖光源，使得樣品的空間分辨率可以達(dá)到2~5um級(jí)別，該系統(tǒng)適用于多種不同性質(zhì)材料的精密微加工。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
Ice-Micromake激光微加工系統(tǒng)
--高精度高分辨率
上海濱賽光電科技有限公司是提供的Ice-Micromake系列一款緊湊的激光微加工單元，主要應(yīng)用于高精度和高分辨率的微加工應(yīng)用。該系統(tǒng)將激光器、光學(xué)系統(tǒng)、高分辨相機(jī)等所有需要的微加工設(shè)備集成在一起，同時(shí)帶有強(qiáng)大智能分析功能的軟件。這款微加工系統(tǒng)使用ns/ps級(jí)脈沖光源，使得樣品的空間分辨率可以達(dá)到2~5um級(jí)別，該系統(tǒng)適用于多種不同性質(zhì)材料的精密微加工。
這種緊湊系統(tǒng)的典型應(yīng)用包括精密切割、選擇性移除和3D微加工、微電子電路/顯示器制造和校正、光學(xué)基片微加工、控制燒蝕、激光微鉆孔等領(lǐng)域。
產(chǎn)品應(yīng)用：
3D微加工；
微電子電路/顯示器制造和校正；
激光微鉆孔；
激光控制燒蝕；
芯片/顯示器微加工；
產(chǎn)品參數(shù)：
型號(hào) | Ice-Micromake 532 | Ice-Micromake plus 532 | Ice-Micromake 266 | Ice-Micromake plus 266 |
波長(zhǎng) | 532nm | 532nm | 266nm | 266nm |
放大倍數(shù) | 10X | 10X | 10X | 10X |
工作距離 | 39mm | 39mm | 20mm | 20mm |
分辨率 | 4.5um | 5um | 2.2um | 2.5um |
加工區(qū)域 | 0.8mm*0.8mm | 0.8mm*0.8mm | 0.8mm*0.8mm | 0.8mm*0.8mm |
頻率 | 1KHZ | 10-100khz | 0.8khz | 10-100khz |
最大峰值功率 | 10KW | 35KW | 0.8KW | 5KW |
加工速度 | Up to 5mm/s | Up to 100mm/s | Up to1mm/s | Up to 40mm/s |
散熱 | Air-cooled | Air-cooled | Air-cooled | Air-cooled |
尺寸大小 | 35*16*9cm^3 | 35*24*11cm^3 | 37*16*9 cm^3 | 37*24*11 cm^3 |