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高精度鉑電阻溫度傳感器

產(chǎn)品概述

高精度鉑電阻溫度探頭采用行業(yè)的真空 PVD 沉積、 MEMS 精密加工等技術(shù)，已經(jīng)完成 -70℃  ～ 1000℃寬溫區(qū)傳感器芯片國產(chǎn)化。主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到進(jìn)口產(chǎn)品水平，具備 MEMS 加工先進(jìn)技術(shù)裝備和工藝， 可以為客戶提供 MEMS 工藝代加工和傳感器芯片開發(fā)合作業(yè)務(wù)。可用于各類儀器儀表制造業(yè)和制造各種溫 度傳感器，更適合對溫度測量精度要求比較高的科研領(lǐng)域和工業(yè)領(lǐng)域；鉑電阻芯片可提供 100Ω、200Ω、 1000Ω 等阻值的元件。在高溫下能夠保持優(yōu)良的穩(wěn)定性，有良好的絕緣性，鉑電阻溫度范圍 -70° C ～ 1000° C。

高精度鉑電阻溫度傳感器產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 可用于各類儀器儀表制造業(yè)和制造各種溫度傳感器，更適合對溫度測量精度要求比較高的科研領(lǐng)域和工業(yè)領(lǐng)域；

2. 鉑電阻芯片可提供100Ω、200Ω、1000Ω等阻值的元件；

3. 在高溫下能夠保持優(yōu)良的穩(wěn)定性，有良好的絕緣性，鉑電阻溫度范圍是-70℃~1000℃；

4. 高性能和長壽命特性；

5. 引腳材料為鉑銥絲；

6.1000℃50小時(shí)R（℃）的阻值漂移≤0.1％；

7.10至1000Hz的頻率加速度≥40g。

高精度鉑電阻溫度傳感器產(chǎn)品參數(shù)

高精度鉑電阻溫度傳感器性能指標(biāo)

性能偏差

性能測試

產(chǎn)品經(jīng)過 1000℃連續(xù) 50 小時(shí)加熱后，測試 0℃阻值的結(jié)果見圖1

公司產(chǎn)品與進(jìn)口產(chǎn)品在相同測試條件下測得的溫度數(shù)據(jù)見圖2

1000℃/50小時(shí)老化試驗(yàn)Aging Test at 1000℃ for 50 Hours

燒結(jié)前Before heating 燒結(jié)后After heating

圖1老化試驗(yàn)阻值變化

溫度特性對比

公司產(chǎn)品 進(jìn)口產(chǎn)品

圖 2 產(chǎn)品性能對比試驗(yàn)