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半導(dǎo)體設(shè)備真空腔高精度測(cè)溫系統(tǒng)Vac.TEMP TS
1、精密測(cè)溫NTC傳感器；
2、真空貫通法蘭；
3、精密多通道測(cè)溫儀；
4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。
半導(dǎo)體設(shè)備真空腔高精度測(cè)溫系統(tǒng)精密NTC測(cè)溫傳感器技術(shù)規(guī)范 |
名稱 | 指標(biāo) |
標(biāo)稱電阻 | 10000Ω@25℃ |
絕對(duì)精度 | ≤10、5、1mK |
重復(fù)精度 | ≤1mK@30min、1Hz |
年漂移量 | ＜10、5、1mK |
線制 | 4線 |
探頭封裝 | 316L圓柱封裝或定，內(nèi)部填充不留氣，不漏氣 |
引線材質(zhì) | PTFE（真空） |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤1s |
探頭尺寸 | ≤φ2.0*10mm |
連接器 | DB |
真空饋通 | 法蘭 |
引線端子 | 智能航插 |
校準(zhǔn) | 提供校準(zhǔn)報(bào)告 |
| 溫度采集儀618A/NTC技術(shù)規(guī)范 |
名稱 | 指標(biāo) |
溫度校準(zhǔn)范圍 | 16-70℃ |
測(cè)量模塊絕對(duì)精度 | ≤10、5、1mK@1Hz/通道 |
測(cè)量模塊年漂移 | ≤10、5、1mK |
測(cè)量通道數(shù)量 | 4、8、16、32、120個(gè)可選 |
采樣頻率 | 可調(diào)，最大≥10Hz/通道 |
激勵(lì)電流 | ≤10uA |
運(yùn)行/故障指示燈 | 是 |
單通道獨(dú)立控制 | 是 |
輸入 | 4線制NTC |
通訊接口 | LAN/RS485/USB |
通訊協(xié)議 | Modbus RTU |
數(shù)據(jù)格式 | 機(jī)器時(shí)間-對(duì)應(yīng)通道的溫度值 |
設(shè)備記錄時(shí)間功能 | 有內(nèi)部時(shí)鐘，采集頻率＜1Hz時(shí)，時(shí)間差≤0.1s |
測(cè)溫探頭接口 | 航空插頭 |
軟件 | 配套DAQ數(shù)據(jù)采集軟件 |
供電電源 | AC220V適配器 |
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