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水中臭氧分析儀470是zuix進的溶解臭氧測量模塊，為半導體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設計。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L 的溶解臭氧測量。470已完成“預備清潔"，能夠滿足高純度半導體過程的需求，并且可簡單的直接拼接進任何濕法處理的環(huán)流回路中，最高支持150 SLPM的流量。 470型傳感器使用雙路取樣傳感技術，達到了wu與倫比的性能，且擺脫了對參比液體測量的需求

水中臭氧分析儀470是zuixian進的溶解臭氧測量模塊，為半導體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設計。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L 的溶解臭氧測量。470已完成“預備清潔"，能夠滿足高純度半導體過程的需求，并且可簡單的直接拼接進任何濕法處理的環(huán)流回路中，最高支持150 SLPM的流量。 470型傳感器使用雙路取樣傳感技術，達到了wu與倫比的性能，且擺脫了對參比液體測量的需求。通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜。470傳感器能夠通過模擬或數(shù)字信號向濕法處理過程控制臺遠程報告測量的濃度。

水中臭氧分析儀技術指標

測量原理：紫外吸收法，雙路取樣傳感技術
紫外光源：低壓汞燈
測量單位：ppmw, mg/L
量程：高達150 mg/L (150 ppmw)
精度：0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為
準）
水流量：高達150 SLPM
采樣端口：1", 3/4", 3/8" Flaretek 連接
最大壓強：55 PSI
接觸材料：特氟龍, 藍寶石, 與半導體流程相容

外殼：聚四氟乙烯特氟隆
尺寸：5.69" 寬 x 6.8" 高 x 3.2" 長 - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm)
維護：紫外燈每24個月替換一次無其他預定維護
電纜：特氟龍外層
電源：+15 VDC
認證：CE 認證
模擬輸出：4到20mA或0到5VDC，出廠時選擇
數(shù)字 I/O ：RS-232 或 RS485，出廠時選擇
遠程校零：通過DB15進行遠程零點校準

產(chǎn)品特點

現(xiàn)場檢測
在線且全流量監(jiān)測
直線通過的流型
無移動部件
無消耗品
測量范圍最高達150 mg/L
遠程零點校準
高精度紫外吸收法
雙光道采樣感應技術
不需求日常維護
半導體級別濕式材料
緊湊的特氟龍外殼
特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜

應用

液態(tài)溶解臭氧
半導體濕法清洗系統(tǒng)
超純水系統(tǒng)
制藥業(yè)
水處理
其他工業(yè)過程

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