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半導(dǎo)體行業(yè)氣體品質(zhì)檢測
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-04-29 14:47:58

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半導(dǎo)體行業(yè)氣體品質(zhì)檢測五項測試檢測出報告測試項目包括微粒、氧氣含量、水份、氦氣測漏與壓力測試。注:1、管路微粒、水氧等測試前須先銜接廠務(wù)端接點后

五項測試檢測技術(shù)內(nèi)容

 

半導(dǎo)體行業(yè)氣體品質(zhì)檢測測試項目包括微粒、氧氣含量、水份、氦氣測漏與壓力測試。

注:1、管路微粒、水氧等測試前須先銜接廠務(wù)端接點后,以閥箱或氣柜內(nèi)之test port通入N2(c)進行測試,如N2(C)純度不夠無法滿足要求,廠商需自配純化器。

    2、施工purge及保壓、微粒、水份測試等限定使用N2半導(dǎo)體行業(yè)氣體品質(zhì)檢測

 

半導(dǎo)體行業(yè)氣體品質(zhì)檢測五項測試檢測出報告一、管線測試規(guī)范如下:

1.管路持壓測試

Bulk-gas及Purified-gas持壓測試時間≧6小時; Special-gas持壓測試時間≧24小時 (須檢附保壓記錄器圓盤記錄紙);合格標(biāo)準(zhǔn):氣體保壓測試初始壓力7.5~8.5 kg/cm2,持壓后△P≦1%初始壓力

 

2.管路微粒測試

Purified-gas 及 Special-gas氣體管路須進行微粒測試,并須檢附Particle Counter紀(jì)錄紙;合格標(biāo)準(zhǔn):每10分鐘測1點,連續(xù)測3次,Purified-gas、Special gas粒徑≦0.1μm,顆粒數(shù)≦0 pcs/cf

 

3.管路水份/氧分析測試

Purified-gas 及 Special-gas(含H2、不含NG)氣體管路須進行水份、氧分析測試,并須檢附水份、氧分析儀紀(jì)錄紙;合格標(biāo)準(zhǔn):測試時間30分鐘,D.P(含水量)≦10 ppb   D.P(含氧量)≦10 ppb。水份分析儀誤差range為±4ppb,允許實測讀值應(yīng)小于6ppb

 

4.管路氦測漏

Purified-gas 及Special-gas(含H2、不含NG)氣體管路須進行氦測漏測試,并須檢附氦測漏機紀(jì)錄紙;合格標(biāo)準(zhǔn):測試時間30分鐘,漏率≦1*10-9 Atm cc/sec

 

.測試要求:

所有測試按接機點計算,必須保證所有管路均有測試,必須將所有管路末端單一逐一測試,或者末端串聯(lián)測試,保證管路都經(jīng)過儀器檢測,測試高純氣體與特殊氣體分開測試。

 

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