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不銹鋼精密氣體減壓器
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更新時(shí)間:2025-04-29 14:48:37

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不銹鋼精密氣體減壓器Sα-1H精密氣體減壓器。單級膜片式設(shè)計(jì);中等壓力輸入,低壓標(biāo)準(zhǔn)流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;適用于標(biāo)準(zhǔn)氣體、高純氣體、低濃度(≤1%)腐蝕性氣體等(可用于小流量液體)。標(biāo)準(zhǔn)流量60L/min。

不銹鋼精密氣體減壓器Pα-1H精密氣體減壓器。單級膜片式設(shè)計(jì);中等壓力輸入,低壓標(biāo)準(zhǔn)流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;適用于半導(dǎo)體高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。標(biāo)準(zhǔn)流量60L/min。

 

工作條件:

進(jìn)口壓力15MPa
出口壓力0~0.99MPa
CV值0.02
爆破壓力35MPa
原壓變動(dòng)0.00021MPa
(入口壓力變化0.1MPa時(shí),出口壓力的變化量)
溫度-10~+70℃
外漏率≤1×10-9Pa.M3/Sec.He
安裝方式前面板安裝,后面板安裝

 

不銹鋼精密氣體減壓器產(chǎn)品特點(diǎn):

柔性膜片結(jié)構(gòu),手柄特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),調(diào)節(jié)順暢,輸出壓力精密到0.001MPa.流量損失小
單級式減壓,死體積小,便于吹掃
進(jìn)口出口可以加裝其他附件
主要部件電解拋光處理,增加腐蝕性
內(nèi)置精密過濾器,保證氣體潔凈
超純水清洗

 

主要部件材料:

零部件名稱Part材料(Materials)
后蓋BonnetSUS316
閥體BodySUS316L
閥針PoppetSUS316L
膜片DiaphragmSUS316L
密封墊SeatPTFE、PCTFE或PEEK


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