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薄膜熱應(yīng)力測量系統(tǒng)

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更新時間:2024/10/16 14:29:07瀏覽次數(shù):3133

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產(chǎn)品簡介

應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池
薄膜熱應(yīng)力測量系統(tǒng)(kSA MOS Thermal-Scan 薄膜熱應(yīng)力儀,薄膜應(yīng)力計,薄膜應(yīng)力測試儀)同時KSA公司榮獲2008 Innovation of the Year Awardee!

詳細(xì)介紹

薄膜熱應(yīng)力測量系統(tǒng)

已經(jīng)廣泛被著名高等學(xué)府(如:Harvard University 2套,Stanford University,Johns Hopkins University,Brown University 2套,Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute,西安交通大學(xué),中國計量科學(xué)研究院,中科院微系統(tǒng)研究所,上海光機(jī)所等)、半導(dǎo)體和微電子制造商(如IBM.,Seagate Research Center,Phillips Semiconductor,NEC,Nissan ARC,Nichia Glass Corporation)等所采用;

 

薄膜熱應(yīng)力測量系統(tǒng)

同類設(shè)備:
               薄膜應(yīng)力測試儀(kSA MOS 薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng),薄膜應(yīng)力計);
               薄膜殘余應(yīng)力測試儀;
               實時原位薄膜應(yīng)力儀(kSA MOS);

技術(shù)參數(shù):
kSA MOS Thermal-Scan Film Stress Tester, kSA MOS Film Stress Measurement System,kSA MOS Film Stress Mapping System;
  1.變溫設(shè)計:采用真空和低壓氣體保護(hù),溫度范圍RT~1000°C;
  2.曲率分辨率:100km;
  3.XY雙向程序控制掃描平臺掃描范圍:up to 300mm(可選);
  4.XY雙向掃描速度:up to 20mm/s;
  5.XY雙向掃描平臺掃描步進(jìn)/分辨率:2 μm ;
  6.樣品holder兼容:50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm, and 300mm直徑樣品;
  7.程序化控制掃描模式:選定區(qū)域、多點線性掃描、全樣品掃描;
  8.成像功能:樣品表面2D曲率、應(yīng)力成像,及3D成像分析;
  9.測量功能:曲率、曲率半徑、應(yīng)力強(qiáng)度、應(yīng)力、Bow和翹曲等;
  10.溫度均勻度:優(yōu)于±2攝氏度;

主要特點:
  1.技術(shù):MOS多光束技術(shù)(二維激光陣列);
  2.變溫設(shè)計:采用真空和低壓氣體保護(hù),溫度范圍RT~1000°C;
  3.樣品快速熱處理功能;
  4.樣品快速冷卻處理功能;
  5.溫度閉環(huán)控制功能,保證溫度均勻性和精度;
  6.實時應(yīng)力VS.溫度曲線;
  7.實時曲率VS.溫度曲線;
  8.程序化控制掃描模式:選定區(qū)域、多點線性掃描、全樣品掃描;
  9.成像功能:樣品表面2D曲率成像,定量薄膜應(yīng)力成像分析;
  10.測量功能:曲率、曲率半徑、薄膜應(yīng)力、薄膜應(yīng)力分布和翹曲等;
  11.氣體(氮氣、氬氣和氧氣等)Delivery系統(tǒng);

 

測試結(jié)果

薄膜熱應(yīng)力測量系統(tǒng)

玻璃上鍍SiN應(yīng)力測試結(jié)果80°C

 

 

薄膜熱應(yīng)力測量系統(tǒng)

 

 

玻璃上鍍SiN應(yīng)力測試結(jié)果350°C

 

 

薄膜熱應(yīng)力測量系統(tǒng)

玻璃上鍍SiN曲率測試結(jié)果80°C

 

 

薄膜熱應(yīng)力測量系統(tǒng)

玻璃上鍍SiN曲率測試結(jié)果350°C

 

同類設(shè)備
    • 薄膜應(yīng)力測試儀(kSA MOS 薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng),薄膜應(yīng)力計)
    • 薄膜殘余應(yīng)力測試儀
    • 實時原位薄膜應(yīng)力儀(kSA MOS)

    • kSA MOS Thermal-Scan Film Stress Tester

    • kSA MOS Film Stress Measurement System

    • kSA MOS Film Stress Mapping System

 

 

 

 

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