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高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL
高低溫探針臺系統(tǒng)達到≤10Pa即可進行低溫測試而無凝露或結霜。對于選用了入門級配置的用戶，可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標真空度，從而減少設備的配置預算。對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統(tǒng)進行抽真空。低溫探針臺系統(tǒng)可達10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。
為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設計了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時產生的振動，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的漂移。
高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL參數(shù)
| 真空腔體 | |
| 腔體材質 | 304不銹鋼 |
| 上蓋開啟 | 鉸鏈側開 |
| 加熱臺材質 | 304不銹鋼 |
| 內腔體尺寸 | φ160x90mm |
| 觀察窗尺寸 | Φ70mm |
| 加熱臺尺寸 | φ60mm |
| 觀察窗熱臺間距 | 75mm |
| 加熱臺溫度 | ﹣196~350℃ |
| 加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
| 真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
| 允許正壓 | ≤0.1MPa |
| 真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
| 氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
| 電信號接頭 | SMA轉BNC X 4 |
| 電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
| 探針數(shù)量 | 4探針 |
| 探針材質 | 鎢針 |
| 探針尖 | 10μm |
| 探針移動平臺 | |
| X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
| X軸控制精度 | ≤0.01mm |
| Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
| Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
| Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
| Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
| 電子顯微鏡 | |
| 顯微鏡類別 | 物鏡 |
| 物鏡倍數(shù) | 0.7-4.5倍 |
| 工作間距 | 90mm |
| 相機 | sony 高清 |
| 像素 | 1920※1080像素 |
| 圖像接口 | VGA |
| LED可調光源 | 有 |
| 顯示屏 | 8寸 |
| 放大倍數(shù) | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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