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掃描電化學顯微鏡SECM是一套多功能的SPM掃描探針顯微鏡系統(tǒng)，還可以集成SICM，SECCM等多種微區(qū)功能。

掃描電化學顯微鏡SECM具備掃描電化學顯微鏡及掃描離子電導顯微鏡成像（SECM/ SICM）與可定制模塊化的光學顯微鏡成像同步聯用的系統(tǒng)，此多功能的儀器系統(tǒng)全面覆蓋細胞表面分析，細胞納米形貌成像，細胞膜表面的離子通道的檢測與成像, 細胞納米力學領域的研究與創(chuàng)新，細胞活性和生理功能的原位電化學檢測，以及神經傳導物質的原位快速檢測，并可升級后兼容熒光比值鈣成像等諸多前沿應用。提供原位微觀形貌與電催化活性同步掃描檢測模式，例如：基礎的等高模式和高級的等間距模式下的矩陣協(xié)議掃描和模板自定義掃描（3D微觀打印或局部修飾等模式），提供給用戶無限的實驗組合和多種分析實驗方法的高級拓展與聯用。

系統(tǒng)組件與功能描述及核心參數：

1.1 機械掃描四軸納米定位系統(tǒng)(模塊)：

    1）X/Y/Z 三軸掃描探針定位系統(tǒng)：閉環(huán)電路控制的直流伺服XYZ馬達臺疊加Z-軸壓電驅動系統(tǒng)，XYZ馬達臺具備掃描分辨率≤10nm，馬達掃描軸大動態(tài)掃描范圍不小于X=100mm, Y=75mm, Z=50mm；Z-軸配備的納米分辨率壓電驅動系統(tǒng)具備步進分辨率≤1.5納米。掃描系統(tǒng)具備探針與樣品共掃描模式，Z-軸可快速完成長距離下的全自動探針逼近過程。

    2）系統(tǒng)具備X/Y/Z/F 四維亞微米便攜式獨立遙控桿，具有慢速和長距離/快速雙模式。

    3） XY掃描軸可擴展移動定位范圍，具備手動調節(jié)旋鈕可額外擴展 X/Y定位范圍至不少于±12.5 mm。

1.2 系統(tǒng)無縫集成的微觀光學顯微鏡成像系統(tǒng)（模塊）：

    1）核心光學組件倒置集成于XY樣品臺的正下方，光學成像對焦由電動馬達自動聚焦驅動器（分辨率≤5.5nm，對焦移動范圍≥5厘米），光學對焦位置可進行數字式調節(jié)和記錄。

    2）光學成像光路具備模塊化顯微鏡光路設計，核心組件具備臨界照明的落射熒光光學元件，光導耦合器，及用戶可自由調節(jié)的濾光片立方體和用于連接像機的C型接口適配器。

    3）倒置顯微鏡須配備6孔位物鏡盤，系統(tǒng)配置的物鏡須具有長工作距離的熒光級物鏡，放大倍數至少為4x, 20x和 40x.

    4）被觀測樣品的光學照片及視頻可由系統(tǒng)相機進行實時采集，激發(fā)控制模式支持預設、內部同步、曝光激發(fā)、連續(xù)曝光模式。

    5）光學系統(tǒng)兼容升級接入無縫集成的LED熒光激發(fā)光源系統(tǒng)，熒光濾波片組及超高速熒光CCD相機。

1.3. 多功能雙通道電化學數據采集系統(tǒng)（模塊）：

雙恒電位儀工作站核心硬件參數：

1）槽壓：± 12V；

2）電流可用量程：±5 pA 至 ±100mA

3）大電流: ±100 mA

4）*電流分辨率: ≤0.15fA 在 5pA 量程 ；

5）*電流噪音：RMS實測值≤ 3.5 fA （15Hz）; ≤ 31 fA（1kHz）; ≤ 120 fA（5kHz）， (測于5pA-10pA量程) ；

6）電位分辨率≤610 nV ；

7）內置數模轉換器16-bit / 脈沖≤ 5 us (雙通道)；

8）支持四電極連接模式，具有浮地接線模式。