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目錄:上海昊量光電設備有限公司>>專用實驗設備>>橢偏儀>> 多波長橢偏儀(僅需25萬?。?/p>

多波長橢偏儀(僅需25萬?。?/div>
  • 多波長橢偏儀(僅需25萬?。? data-zoom-image=
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產(chǎn)地類別 進口 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,道路/軌道/船舶,航空航天
AUTFS1橢偏儀是利用橢圓偏振的方法對樣品進行光學表征。在該系統(tǒng)中由偏振態(tài)發(fā)生器(PSG)發(fā)射已知偏振態(tài)的光斜入射到樣品上,然后偏振態(tài)檢測器(PSD)檢測反射光的偏振狀態(tài)。多波長橢偏儀(僅需25萬?。?

多波長橢偏儀(僅需25萬?。?/span>

AUTFS1橢偏儀是利用橢圓偏振的方法對樣品進行光學表征。在該系統(tǒng)中由偏振態(tài)發(fā)生器(PSG)發(fā)射已知偏振態(tài)的光斜入射到樣品上,然后偏振態(tài)檢測器(PSD)檢測反射光的偏振狀態(tài)。如下圖所示

由樣品引起的發(fā)射光偏振態(tài)的變化可以由P偏振光和S偏振光的反射率的比值決定。比值為復數(shù),如下圖所示: 其中tan(Y)定義了P偏振光和S偏振光反射率比值的大小,D定義了P偏振光和S偏振光的相位差。

由于該方法測量的是一個比值,因此對光的強度的變化,以及樣品缺陷造成的散射不敏感,并且在每個波長測量兩個參量可獲得兩個常量例如:薄膜厚度和折射率,此外D對薄膜厚度非常敏感,可以使薄膜厚度測量精度到0埃。

 

上海昊量光電推出的多波長橢偏儀采用長壽命的LED光源,可分別提供465nm、525nm、580nm和635nm四種不同波長,并使用無移動部件的橢圓偏振檢測器,緊湊的系統(tǒng)提供快速可靠的薄膜測量。

通過1秒的測量可以精確的測量0-1000nm的大多數(shù)透明薄膜的厚度。并可以獲得n和k等光學常量。

相比于單波長橢偏儀,多波長橢偏儀可測定薄膜厚度,對于透明薄膜測量厚度至少可達1μm,不存在厚度周期性問題;可確定樣品其它其它參數(shù)特性例如薄膜粗糙度、多層膜厚度等;對數(shù)據(jù)分析提供檢測依據(jù),一個良好的分析模型應該適用于不同波長的數(shù)據(jù);對于非常薄的薄膜(<20nm)多波長橢偏儀提供的數(shù)據(jù)信息量可以與光譜橢偏儀相媲美。

應用案例:

原位測量:

                          AUTFS-1 Mounted on Kurt Lesker ALD Chamber                                                              AUT FS-1 Mounted on AJA Sputter Chamber

 

選配件:

1、聚焦選項:將樣品上的光束縮小至0.8 x 1.9 mm 或0.3 x 0.7 mm

2、聚焦束檢驗選項

    3、自動成像系統(tǒng)

產(chǎn)品特點:

  •  多波長

  • 橢偏檢測器中無移動部件

  • 優(yōu)異的測量精度(優(yōu)于0.001nm)

  • 可原位測量

     

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