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NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀
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  • NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀

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貨物所在地: 浙江杭州市
產(chǎn)地: 韓國(guó)
更新時(shí)間: 2025-01-10 14:14:53
期: 2025年1月10日--2025年7月13日
已獲點(diǎn)擊: 113
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(聯(lián)系我們,請(qǐng)說(shuō)明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀為L(zhǎng)CD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等領(lǐng)域提供納米級(jí)別精度的測(cè)量.

詳細(xì)介紹

NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀為L(zhǎng)CD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等領(lǐng)域提供納米級(jí)別精度的測(cè)量.

包括:非接觸3D形貌測(cè)量,更廣的測(cè)量范圍(5mm可選),自動(dòng)聚焦功能(可選),拼接和線路縱斷面等功能。

 

NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀技術(shù)參數(shù)

干涉物鏡:5物鏡可選(程控)

掃描范圍:0-180um(270um,5mm可選)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm

橫向分辨率:0.2-4um(取決于物鏡和FOV)

傾斜度:±6°

工作平臺(tái):NV-P2020  200X200mm(程控)    

NV-P4050  400X500mm(程控)

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