詳細(xì)介紹
儀器特點(diǎn):
1. 自動(dòng)或手動(dòng)模式(電流控制磁場(chǎng)模式)
2. 自動(dòng)接觸檢查(歐姆接觸)
3. 常規(guī)和增強(qiáng)軟件
4. I/V曲線測(cè)試電阻率差異
5. 失調(diào)電壓補(bǔ)償
6. 修正慢樣品漂移電壓,特別是氧化鋅
7. 大濃度和電阻率范圍
8. 靈活的模塊化硬件
技術(shù)參數(shù):
1 磁場(chǎng): 磁場(chǎng)強(qiáng)度: 0.5T 永磁體 磁場(chǎng)類(lèi)型: 永磁體 磁場(chǎng)均勻性: 磁場(chǎng)不均勻性<±1 % 10年內(nèi)磁場(chǎng)變化<±0.2%
2 溫 度: 溫度區(qū)域: 77K(液氮溫度)或室溫
3 電阻率范圍: 1 μ Ohm*cm ~10 M Ohm*cm
4 電阻范圍: 0.1 m Ohms ~10 G Ohms
5 載流子濃度: 107~1021cm-3
6 遷移率: 10-2~107 cm2/volt*sec
7 輸入電流: 電流范圍: 1000 pA~10mA 電流解析度: 2.5 pA (lowest range) 電流精度: 2%
8 輸入電壓: 電壓范圍: ±10V 電壓分辨率: 1μV > 可做IV,IIIV,ⅡⅢ等材料測(cè)試 > 設(shè)計(jì)小巧,性價(jià)比* > 支持室溫&77K測(cè)試 > 使用樣品夾固定待測(cè)樣品 >
可選配永磁鐵或電磁作為磁場(chǎng) 1. 設(shè)備名稱(chēng): 霍爾效應(yīng)測(cè)試儀 2. 功能描述: 測(cè)量半導(dǎo)體薄膜中載流子類(lèi)型、載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等參數(shù)
3. 技術(shù)參數(shù):
3-1 測(cè)試范圍: Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (N Type & P Type)等材質(zhì)的半導(dǎo)體薄膜中載流子類(lèi)型、載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等參數(shù)
3-2 磁場(chǎng):
3-2-1 磁場(chǎng)強(qiáng)度: 0.45T 永磁體
3-2-2 磁場(chǎng)類(lèi)型: 永磁體
3-2-3 磁場(chǎng)均勻性: 磁場(chǎng)不均勻性<±1 % 10年內(nèi)磁場(chǎng)變化<±0.2% 3-3 溫 度:
3-3-1 溫度區(qū)域: 77K(液氮溫度)或室溫
3-4 電阻率范圍: 1 μ Ohm*cm ~10 M Ohm*cm
3-5 電阻范圍: 0.1 m Ohms ~10 G Ohms
3-6 載流子濃度: 107~1021cm-3 3-7 遷移率: 10-2~107 cm2/volt*sec
3-8 輸入電流:
3-8-1 電流范圍: 1000 pA~10mA
3-8-2 電流解析度: 2.5 pA (lowest range)
3-8-3 電流精度: 2%
3-9 輸入電壓:
3-9-1 電壓范圍: ±10V 3-9-2 電壓分辨率: 1μV
4. 儀器特點(diǎn):
4-1 Automatic contact check 自動(dòng)接觸檢查(歐姆接觸)
4-2 Routine and enhanced software 常規(guī)和增強(qiáng)軟件
4-3 Differential resistivity measurements by I/V-curves I/V曲線測(cè)試電阻率差異
4-4 Misalignment voltage compensation 失調(diào)電壓補(bǔ)償
4-5 Correction of slow sample drift voltage, especially for ZnO, 修正慢樣品漂移電壓,特別是氧化鋅
4-6 Automatic field calibration 自動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定
4-7 Large concentration and resistivity range 大濃度和電阻率范圍
4-8 Flexible, modular hardware 靈活的模塊化硬件
4-9 Support of various magnets, for example BioRad HL 5200 支持多樣磁場(chǎng)
4-10 Support of various temperature controllers 支持各種溫度控制器(支持客戶自行升級(jí)變溫系統(tǒng))
5 硬件
5-1 The standard system consists of a bench top electronic system, a small magnet and a sample stage for room temperature and LN2 measurements. 標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)包含電子測(cè)試系統(tǒng)、磁場(chǎng)和兩個(gè)溫度區(qū)域的測(cè)試平臺(tái)(室溫和液氮溫度)
5-2 The electronics include the current source, the voltage measurement part, the contact switching module and the IEEE or RS232 interface. It is completely micro processor controlled. 電子測(cè)試系統(tǒng)包括由單片機(jī)控制的電流源、電壓測(cè)試、接觸開(kāi)關(guān)模塊、IEEE或RS232接口
5-3 The contact switching module is designed to allow all possible measurement configurations. 接觸開(kāi)關(guān)模塊支持所有用戶用于其他的配置(用戶可以采用制冷機(jī)做變溫霍爾測(cè)試)
5-4 The current source has adjustable limits for voltage and/or power. {+++} 電流源具有可調(diào)電壓和/或電源的限制
5-5 Voltage measurement provides different input amplifiers optimized for either low current or low voltage applications. 電壓測(cè)量提供了不同的輸入放大器或低電流或低電壓應(yīng)用的優(yōu)化。