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NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀

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更新時(shí)間:2020-11-10 11:21:01瀏覽次數(shù):2713

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣
NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀為L(zhǎng)CD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等領(lǐng)域提供納米級(jí)別精度的測(cè)量.

詳細(xì)介紹

 

 

NanoSystem成立于2003年,為半導(dǎo)體、顯示器和其他精密機(jī)械行業(yè)提供了用非接觸式表面測(cè)量方法進(jìn)行測(cè)量的解決方案。 NanoSystem已經(jīng)建立了非接觸式2D、3D測(cè)量和檢測(cè)系統(tǒng)的核心技術(shù),并成為該市場(chǎng)解決方案的Leader。

高精度(Z軸分辨率達(dá)0.1nm)的非接觸式表面輪廓儀,采用白光掃描干涉技術(shù),使客戶有能力看到、理解和糾正或保持產(chǎn)品質(zhì)量。

 

 

NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀為L(zhǎng)CD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等領(lǐng)域提供納米級(jí)別精度的測(cè)量.

包括:非接觸3D形貌測(cè)量,更廣的測(cè)量范圍(5mm可選),自動(dòng)聚焦功能(可選),拼接和線路縱斷面等功能。

 

NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀技術(shù)參數(shù)

干涉物鏡:5物鏡可選(程控)

掃描范圍:0-180um(270um,5mm可選)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm

橫向分辨率:0.2-4um(取決于物鏡和FOV)

傾斜度:±6°

工作平臺(tái):NV-P2020  200X200mm(程控)    

NV-P4050  400X500mm(程控)

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