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WILKERSON威爾克森過濾器流量的預(yù)測
在半導(dǎo)體制成工藝中，不論早期的250nm制成技術(shù)，還是現(xiàn)在主流的28nm制成技術(shù)，濕法清洗技術(shù)都扮演著極為重要的角色；而清洗機(jī)化學(xué)品的流量和濃度控制又是濕法清洗技術(shù)的重中之重。威爾克森過濾器的更換控制在對化學(xué)品的流量和濃度控制中是或*。

WILKERSON威爾克森過濾器流量的預(yù)測
本文的研究涉及半導(dǎo)體后道工藝中晶圓清洗機(jī)化學(xué)品槽過濾器生命周期內(nèi)的流量預(yù)測和基于預(yù)測優(yōu)化過濾器更換的應(yīng)用，主要解決過早過濾器更換中的成本浪費和杜絕該設(shè)備的過濾器流量EP報警時對正生產(chǎn)產(chǎn)品成品率的影響，zui終完成降低產(chǎn)品生產(chǎn)成本的目的。本文的主要研究工作概述如下：（1）列出了威爾克森過濾器流量預(yù)測應(yīng)用的背景和它的應(yīng)用價值，介紹了國內(nèi)外各大半導(dǎo)體制造企業(yè)在過濾器更換控制中的方法和措施；簡單地分析了非線性系統(tǒng)的各類典型神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)預(yù)測模型的結(jié)構(gòu)、優(yōu)缺點以及前人們的應(yīng)用成果。（2）研究了威爾克森過濾器的工作原理和過濾器更換對流量的變化，提出了威爾克森過濾器流量的預(yù)測模型確立的技術(shù)路線和技術(shù)措施。（3）討論了基于RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)威爾克森過濾器流量的預(yù)測模型中，輸入量與輸出量的自相關(guān)系數(shù)，梯度下降算法以及不同神經(jīng)元個數(shù)時的預(yù)測結(jié)果。通過對其預(yù)測模型的理論分析和仿真研究，為本論文涉及的預(yù)測建模提供了理論依據(jù)。（4）為了提高預(yù)測模型的辨識精度以及減少誤差，文中針對RBF網(wǎng)絡(luò)預(yù)測模型的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了一定改進(jìn)，同時通過帶有有效準(zhǔn)則的模糊聚類算法研究和應(yīng)用，確立了*聚類數(shù)，即神經(jīng)元的個數(shù)。通過仿真計算，獲得了該模型的各類參數(shù)；zui后利用仿真實驗，表明該模型的預(yù)測效果十分良好。 （5）以威爾克森實時的輸出流量作為被控對象，通過將PC和在PC中Matlab軟件作為軟硬件預(yù)測實踐平臺，并將改進(jìn)的RBF網(wǎng)絡(luò)預(yù)測模型以及模糊聚類算法應(yīng)用到該實驗平臺中去。

WILKERSON威爾克森過濾器流量的預(yù)測
實驗實踐結(jié)果表明，文中所提出的改進(jìn)型過濾器的預(yù)測模型，能夠有效地精準(zhǔn)地預(yù)測下一時刻的流量變化，優(yōu)化了過濾器的更化，即節(jié)約成本。近年來，大型半導(dǎo)體制造企業(yè)的市場競爭日趨激烈，暴利程度也被不斷侵蝕，為了提高企業(yè)自身的競爭力，其不得不致力于提升產(chǎn)品成品率和降低產(chǎn)品生產(chǎn)成本的運動中。而該研究的應(yīng)用，能夠優(yōu)化威爾克森過濾器的更換，提高產(chǎn)品成品率，同時降低了清洗工藝的成本，具有良好的工程實踐應(yīng)用價值。