用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工，美國ALICAT氣體質(zhì)量流量計MC-200SCCM-DD。

美國ALICAT氣體質(zhì)量流量計MC-200SCCM-DD

美國ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器M-20LPM-O-NL/5M必須快速準(zhǔn)確，以建立穩(wěn)定的流量。我們的質(zhì)量流量控制器比其他任何一個都能更快地達(dá)到設(shè)定點，這使得它們能夠在線路壓力波動影響下游過程之前抑制它們的波動。定制的閥門選項和工廠PID調(diào)節(jié)確保您的MFC在您的特定應(yīng)用中表現(xiàn)良好。

用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復(fù)性好。
該MC 系列是我們的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，具有能夠測量流速高達(dá)5000標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘或低至0.0025 SCCM模型。 當(dāng)管路壓力較高（145-305 psig）時選擇  MCQ。在  MCW  系列是適合低壓降的應(yīng)用，泄漏測試和用于降低在50 scccm或更低的流速氣動響應(yīng)時間。如果您需要直接替換現(xiàn)有的熱質(zhì)量流量控制器，MCE 系列將閥門折入內(nèi)部以使其過程連接符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)長度。對于真空應(yīng)用，MCV 在MCE外形上增加了一個氣動截止閥。BASIS 是Alicat的緊湊型質(zhì)量流量控制器系列，專為OEM應(yīng)用和大批量訂單而設(shè)計。

流量計一般分為以下幾種類型：
1. 容積式流量計，又稱定排量流量計。它利用機械測量元件把流體連續(xù)不斷的分割成單個已知的體積部分，根據(jù)測量室逐次重復(fù)的充滿和排放該體積部分流體的次數(shù)來測量流體體積流量。
2. 浮子式流量計，又稱轉(zhuǎn)子流量計，是變面積式流量計的一種，在一根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。
3. 差壓式流量計 ，是根據(jù)安裝于管道中流量檢測件產(chǎn)生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計算流量的儀表。
4. 渦街流量計，在流體中安放一根非流線型游渦發(fā)生體，流體在發(fā)生體兩側(cè)交替的分離釋放出兩串規(guī)則地交錯排列的游渦的儀表。
5. 渦輪流量計，是速度式流量計中的主要種類，它采用多葉片的轉(zhuǎn)子（渦輪）感受流體平均流速，從而推導(dǎo)出流量或總量的儀表。
6. 超聲流量計，通過檢測流體流動對超聲束（或超聲脈沖）的作用以測量流量的儀表。
7. 電磁流量計，電磁流量計是根據(jù)法拉弟電磁感應(yīng)定律制成的一種測量導(dǎo)電性液體的儀表。電磁流量計有一系列優(yōu)良特性,可以解決其它流量計不易應(yīng)用的問題,如臟污流、腐蝕流的測量。
8. 熱式流量計，熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。美國ALICAT氣體質(zhì)量流量計MC-200SCCM-DD

基于壓力的質(zhì)量流量儀表，具有蕞佳性能。
大多數(shù)流量儀表的讀數(shù)精度為0.6％
響應(yīng)時間為4毫秒
沒熱身
四個過程變量
內(nèi)置顯示屏
工業(yè)協(xié)議
壓力補償
溫度補償
寬動態(tài)流量范圍

 

應(yīng)用：
用于pH控制的氣體噴射（MC）
通過快速調(diào)整控制寬流量范圍內(nèi)的質(zhì)量流量，以適應(yīng)??不斷變化的流量要求。
甚至更快的泄漏測試（MCW）
設(shè)置為控制壓力的“耳語”質(zhì)量流量控制器在一個裝置中起到壓力控制器和質(zhì)量流量計的作用。
用于反應(yīng)濺射的氣體流量控制（MCV）
精確控制真空室內(nèi)活性氣體的分壓，并在氣流閥的無流量條件下保持緊密關(guān)閉。
OEM氣體分析儀的流量控制（BASIS）
小尺寸，即時控制準(zhǔn)備和雙重通信使BASIS易于構(gòu)建到終用戶產(chǎn)品中。