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DIS-90日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵

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上海民儀電子有限公司
2024-08-14 08:45:10
上海市
日本ULVAC
1987

【簡單介紹】

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵
? 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
? 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
? 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
? 低振動(dòng)低噪音。

【詳細(xì)說明】

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵一、特性

• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。

• 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。

• 低振動(dòng)低噪音。

• 維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制。

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵二、應(yīng)用

• 分析設(shè)備

• 氣體回收系統(tǒng)

• 涂料設(shè)備• TMP 前級(jí)泵

• 氦滲漏探測器

• 半導(dǎo)體制造工藝

三、規(guī)格參數(shù)

	單位	50Hz	60Hz
實(shí)際抽速	L/min	90	108
極限壓力	Pa	5.0
馬達(dá)		單相, 100/115/200/230V, 150W, 4P, 電容啟動(dòng)運(yùn)行
滿載電流	A	2.6/1.3/1.6 (100/200/230V)	2.1/2.2/1.1/1.1 (100/115/200/230V)
重量	kg	14.0
進(jìn)出氣管道直徑		進(jìn)氣管 KF-25　出氣管 KF-16
環(huán)境溫度	°C	5 – 40
水蒸氣處理	g/天	≤5 (A.F. 開啟)
尺寸	mm	214(W) × 308(L) × 225(H)

四、外形圖

五、泵數(shù)曲線

六、對(duì)應(yīng)電壓與認(rèn)證

電壓	現(xiàn)行電壓	CE 認(rèn)證	CSA 認(rèn)證
單相, 100V / 115V (60Hz)/ 200-230V	標(biāo)準(zhǔn)


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