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蘇州勒豐精密儀器有限公司
中級會(huì)員 | 第16年

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精密測量儀器輪廓測量儀的小常識

時(shí)間:2013/8/29閱讀:3377
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■跟蹤角度

下降 上升
相對探針的進(jìn)給方向,探針可以按照測量物的形狀上升或下 降的極限角度叫做跟蹤角度。探針頂端角度為 12°的切面探 針 (圖) 時(shí),上升角度 77°,下降角度 87°,如果是圓錐形探針
(30°圓錐) 的話,極限傾斜度會(huì)變得緩和。表面上看雖然是 77°, 但是,受上行斜面表面粗糙度的影響,會(huì)部分存在 77°以上 的斜面,測力也會(huì)受到影響。
■探針半徑補(bǔ)正
根據(jù)探針的頂端半徑 (0.025mm),記錄圖形會(huì)成為在測量物表 面上滾動(dòng)的球體的中心軌跡。通過對這一探針的頂端半徑進(jìn) 行數(shù)據(jù)處理上的補(bǔ)正,可以得到的測量值和形狀記錄。
探針
記錄圖形
測量物的輪廓
r:  探針半徑
M:測量倍率
用記錄計(jì)從模板和刻度上讀取輪廓形狀時(shí),需要根據(jù)測量倍 率預(yù)先補(bǔ)正測頭半徑值。
■圓弧變形
測頭做圓弧運(yùn)動(dòng)時(shí),會(huì)在記錄圖形的 X 軸方向上出現(xiàn)變形誤 差。補(bǔ)正圓弧變形的手段有
①機(jī)械補(bǔ)正方法
②電子補(bǔ)正方法
■精度
與模擬記錄計(jì)的全刻度作比較,多用 ±% 來表示。
(例) 倍率精度 (精度)   Z 軸 ±0.25% /全刻度
  A3 模擬記錄
 ?。?50mm 是 A3 復(fù)印紙的縱向長度)
假 設(shè) 記 錄 紙 上 誤 差 為 ±0.625mm, 測 量 倍 率 為 10 倍, 那 么, 讀取值則為 0.625mm/10。
※如果是用數(shù)據(jù)處理裝置進(jìn)行解析,并且 Z 軸檢測裝置上內(nèi)
置光柵尺的機(jī)型 (CV-H, CV 系列),那么倍率精度的顯示就不是 百分比,而是光柵尺 (X 軸、Z 軸) 各自的指示精度。
■安全裝置 由于輪廓形狀的斜面角度大或者有毛刺存在,探針頂端出現(xiàn) 超負(fù)荷時(shí),為了防止探針損傷,可以自動(dòng)停止運(yùn)轉(zhuǎn),并發(fā)出 蜂鳴警報(bào)。一般按進(jìn)給方向 (X 軸方向) 的負(fù)荷和上下方向 (Z 軸方向) 的負(fù)荷分別裝備。
■圓弧運(yùn)動(dòng)、直線運(yùn)動(dòng) 這是探針上下動(dòng)作時(shí),測頭劃出的軌跡,有圓弧和直線兩種。 做直線運(yùn)動(dòng)時(shí),機(jī)械構(gòu)造復(fù)雜,做圓弧運(yùn)動(dòng)時(shí),探針的上下 移動(dòng)量較大,會(huì)由于圓弧變形 (    ) 而導(dǎo)致記錄圖形出現(xiàn)誤差。
(參照左下圖)
■ Z 軸檢測方式
X 軸驅(qū)動(dòng)檢測一般使用數(shù)字光柵尺進(jìn)行檢測。Z 軸檢測方式有 模擬方式 (差動(dòng)變壓器) 和數(shù)字光柵尺方式兩種。
模 擬 方 式 中,Z 軸 分 辨 率 會(huì) 隨 測 量 倍 率 和 測 量 范 圍 而 變 化。 數(shù)字光柵尺方式隨光柵尺的分辨率。一般來說,數(shù)字光柵尺
方式精度較高。
探針
測量臂
支點(diǎn)
圓弧變形
③有通過軟件演算來補(bǔ)正的方法。在對上下方向上移動(dòng)量較大
的測量物進(jìn)行高精度測量時(shí),需要補(bǔ)正圓弧變形。

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