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邁可諾技術(shù)有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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公司信息

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4008800298
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址:
洪山區(qū)珞獅南路147號(hào)未來城A棟
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3010/3005/3025/3050SU-8 3000光刻膠
SU-8 3000光刻膠
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) 3010/3005/3025/3050
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市

更新時(shí)間:2024-05-17 08:36:06瀏覽次數(shù):2484

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【簡(jiǎn)單介紹】
供貨周期 一個(gè)月 規(guī)格 100ML,250ML,500ML,1L
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池 主要用途 出色的抗干蝕刻性,降低涂層應(yīng)力,提高附著力
SU-8 3000是一種高對(duì)比度,基于環(huán)氧的光刻膠,專為微加工和其他微電子應(yīng)用中,
需要化學(xué)和熱穩(wěn)定的圖像。 SU-8 3000是SU-8和SU-8 2000的改進(jìn)配方,已被廣泛采用
由MEMS生產(chǎn)商使用多年。 SU-8 3000有配制用于改善附著力和降低涂層應(yīng)力。
SU-8 3000的粘度范圍允許膜厚為4至單層涂層厚度為120 µm。
【詳細(xì)說明】

特征

•提高附著力

         •降低涂層應(yīng)力

 

•高縱橫比成像

          •垂直側(cè)壁

          •單層涂膜厚度大于100mm

           •出色的抗干蝕刻性

SU-8 3000抗蝕劑經(jīng)過專門設(shè)計(jì),可與MicroChem的SU-8顯影劑一起用于浸漬,噴涂或噴漿工藝。 也可以使用其他基于溶劑的顯影劑,例如乳酸乙酯和雙丙酮醇。 對(duì)于高縱橫比和/或厚膜結(jié)構(gòu),也建議強(qiáng)烈攪拌。 表6中給出了浸入過程的建議顯影時(shí)間。這些顯影時(shí)間是近似的,因?yàn)閷?shí)際溶解速度會(huì)隨著攪拌而變化很大。

SU-8 3000具有良好的機(jī)械性能。 但是,對(duì)于要保留成像的抗蝕劑作為終設(shè)備一部分的應(yīng)用,可以在加熱板上或?qū)α骺鞠渲性?50-200°C之間將抗蝕劑進(jìn)行坡道/分步硬烘烤,以進(jìn)一步使材料交聯(lián)。 烘烤時(shí)間根據(jù)烘烤過程的類型和膜厚的不同而不同。



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