KOFLOC科賦樂 浮子流量計

KOFLOC科賦樂 浮子流量計

設(shè)計精巧

雖然成本降低，但保留了足夠良好的性能。

出色的流量調(diào)整性

可以進行平穩(wěn)的流量調(diào)節(jié)。

用途

用于整合設(shè)備

用于氣體吹掃測量

適合追求成本效益的客戶

技術(shù)優(yōu)勢

熱式技術(shù)（氣體）：

基于熱擴散原理，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）。

低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。

壓差式技術(shù)（液體）：

通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號。

耐腐蝕設(shè)計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。

智能功能：

數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。

典型應(yīng)用場景

半導體制造

案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時間＜1秒。

配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。

光伏產(chǎn)業(yè)

案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。

挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。

方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。

化工流程

案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。

材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。

注）

（1）當拆下擰入下方連接的接頭時，針閥整體可能會旋轉(zhuǎn)。 請根據(jù)說明手冊中的內(nèi)容采取措施。

（2）使用時務(wù)必不要施加超過1MPa的壓力。 可能會發(fā)生破損或損壞。

（3）為防止錐形管的損壞，請避免在流量計的前段或后端插入電磁閥門。

（4）本產(chǎn)品不包含在修理對象范圍內(nèi)。 詳情請查看操作說明書。

（5）該流量計用于簡單的流量確認，如果需要穩(wěn)定精確的流量調(diào)節(jié)，請選擇RK1250等型號。