LTS系列 國產(chǎn)納米級白光干涉測厚儀
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 無錫泓川科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 LTS系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/5/27 9:45:43
- 訪問次數(shù) 131
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合 |
LTS系列干涉測厚傳感器全面產(chǎn)品介紹
國產(chǎn)納米級白光干涉測厚儀
一、產(chǎn)品概述
LTS系列白光干涉測厚儀基于白光干涉原理,專為薄膜、涂層厚度測量設(shè)計,具備納米級精度、超快采樣速度及寬范圍適應(yīng)性,適用于半導(dǎo)體、新能源、光學(xué)薄膜等高duan制造領(lǐng)域。
二、白光干涉測厚儀的核心優(yōu)勢(產(chǎn)品亮點)
超高精度
重復(fù)精度達(dá) 1nm,線性誤差 ±20nm,實現(xiàn)納米級厚度測量。
非接觸式測量,避免接觸損傷樣品表面。
超快速度與寬范圍
最高 10kHz 采樣頻率,滿足高速動態(tài)測量需求。
超大測厚范圍:常規(guī)型號厚度測量范圍 1μm~2500μm(折射率 1.5 時),適配不同薄膜厚度場景。
環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)
抗干擾能力強(qiáng),不受電磁干擾影響。
寬范圍工作距離,部分型號建議安裝距離 5-10mm,兼容復(fù)雜工況。
零發(fā)熱探頭設(shè)計:探頭內(nèi)部無電子元件,避免發(fā)熱導(dǎo)致的夾具變形和光軸偏移,確保長期穩(wěn)定測量。
光源技術(shù)升級
超高亮度彩色激光光源:通過藍(lán)光激發(fā)熒光體生成多色光,較傳統(tǒng)白色 LED 光源,發(fā)光波段更廣、亮度更穩(wěn)定,提升干涉信號解析精度。國產(chǎn)納米級白光干涉測厚儀
三、測量原理
利用白光干涉現(xiàn)象:
光源發(fā)射:白色點光譜經(jīng)干涉探頭照射到樣品表面,薄膜上下表面反射光(反射光 1、反射光 2)產(chǎn)生相位差,形成彩色干涉條紋。
信號解析:通過解析干涉條紋的相位差與光程差關(guān)系,計算薄膜厚度(厚度與相位差直接相關(guān))。
非接觸測量:無需接觸樣品,通過光譜信號處理實時獲取厚度值。
四、白光干涉測厚儀的技術(shù)參數(shù)與型號配置
型號 | LTS-100 | LTS-100W | LTS-50 | LTS-50W |
適配探頭 | LTP-T50(聚焦光點,Φ100μm) | LTP-T10-UV-VIS(彌散光斑,10mm 距離時 Φ4mm) | LTP-T50 | LTP-T10-UV-VIS |
參考距離 | 50mm | 非聚焦探頭 | 50mm | 非聚焦探頭 |
測量范圍 | ±2mm(厚度:2μm~100μm,折射率 1.5 時) | 建議安裝距離 5-10mm(厚度:1μm~50μm,折射率 1.5 時) | ±2mm | 建議安裝距離 5-10mm |
精度指標(biāo) | 重復(fù)精度 1nm,線性誤差 ±20nm | 重復(fù)精度 1nm,線性誤差 ±20nm | 重復(fù)精度 1nm,線性誤差 ±20nm | 重復(fù)精度 1nm,線性誤差 ±20nm |
測量角度 | ±3° | ±10° | ±3° | ±10° |
采樣頻率 | 最高 10kHz | 最高 10kHz | 最高 10kHz | 最高 10kHz |
探頭規(guī)格 | Φ30×58mm,90g,IP40 防護(hù) | Φ6.35×65mm,輕量化設(shè)計 | Φ30×58mm,90g,IP40 防護(hù) | Φ6.35×65mm,輕量化設(shè)計 |
接口 | Ethernet(100BASE-TX)、USB2.0、RS-485(Modbus 協(xié)議) | 同左 | 同左 | 同左 |
電源 | 24VDC±10%,電流 0.4A | 同左 | 同左 | 同左 |
工作環(huán)境 | 溫度 0~50℃,濕度 20~85% RH(無冷凝) | 同左 | 同左 | 同左 |
五、典型應(yīng)用場景
電子行業(yè):觸摸屏 ITO 膜厚測量、UTG 超薄柔性玻璃厚度檢測。
新能源:鋰電隔膜厚度在線監(jiān)測、光伏薄膜均勻性檢測。
材料科學(xué):PET 多層膜材厚度分層測量、光學(xué)涂層厚度控制。
精密制造:半導(dǎo)體晶圓薄膜沉積厚度監(jiān)控、微納結(jié)構(gòu)表面形貌分析。
六、配套支持
軟件與開發(fā):
上位機(jī)軟件 TSConfocalStudio,支持實時數(shù)據(jù)顯示與分析。
提供 C++/C# 二次開發(fā)包,便于集成至自動化產(chǎn)線。
硬件適配:
支持編碼器觸發(fā)與脈沖 / 電平觸發(fā)輸入,兼容多種工業(yè)控制信號。
模擬信號輸出(±10V 電壓 / 4~20mA 電流)與數(shù)字信號輸出(警報、比較器),滿足不同設(shè)備接口需求。
七、白光干涉測厚儀的設(shè)計亮點
緊湊輕量化:最小探頭直徑僅 6.35mm,適合狹小空間安裝。
光纖設(shè)計:光纖接頭預(yù)留距離 100mm,靜態(tài) / 動態(tài)彎曲半徑分別為 30mm/60mm,
提升布線靈活性。
長期穩(wěn)定性:無發(fā)熱探頭結(jié)構(gòu),避免溫度漂移影響,確保高精度持續(xù)測量。
總結(jié)
LTS系列干涉測厚傳感器以納米級精度、超快響應(yīng)和高可靠性,成為薄膜厚度測量的理想選擇,廣泛應(yīng)用于高duan制造的質(zhì)量控制與工藝優(yōu)化,助力客戶實現(xiàn)精密測量與生產(chǎn)效率提升。