KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京中科科儀光電科技有限公司
- 品牌 KYKY/中科科儀
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/5/9 16:45:06
- 訪問次數(shù) 143
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源,電子/電池 |
|---|
一、產(chǎn)品特點
亞納米級分辨率
低像差錐形物鏡
大束流
自動化控制系統(tǒng)
超大樣品倉
鏡筒加速技術(shù) 顯著降低色差 低壓下高質(zhì)量成像
二、技術(shù)參數(shù)
三、產(chǎn)品功能
01 二次電子探測器
· 高信噪比，高帶寬 · 大景深，表征樣品表面形貌結(jié)構(gòu)
02 不同探測器同時成像
· 顯示SE，BSE 雙通道圖像
· 可任意設(shè)置不同探測器的信號混合比例
· BSE探測器，反映樣品表面的成分特征
03 陰極熒光成像
04 大圖拼接
可連續(xù)自動采圖，避免人工操作的繁瑣和誤差。 · 實現(xiàn)多個圖像準(zhǔn)確拼接，生成高分辨率的大圖。
05 粒度分析
采用深度學(xué)習(xí)的復(fù)合圖像處理算法，自動識別比例尺，精準(zhǔn)識別圖像中的顆粒，多種形態(tài)參數(shù)的統(tǒng)計與導(dǎo)出，更全面的進(jìn)行粒度
和粒形統(tǒng)計。
06 關(guān)鍵尺寸測量
具備距離，角度，水平線/垂直線等豐富的圖像測量功能
四、定制能力
1、電子束曝光（EBL）
基于掃描電鏡的電子束曝光系統(tǒng)（EBL），能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積，從而實現(xiàn)高分辨率的圖形曝光。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的電子束掃描控制技術(shù)，支持靈活多樣的圖案設(shè)計和精確控制，不僅具有電子束曝光功能，還保留了原SEM 的觀測功能，這使得用戶可以在同一臺設(shè)備上完成樣品的觀測和加工，提高了工作效率和便利性。
2、真空互聯(lián)
·真空互聯(lián)掃描電鏡用于對樣品車傳遞過來的產(chǎn)品進(jìn)行自動檢測，分析其表面晶粒形態(tài)大小分布等信息，評估其薄膜的膜質(zhì)量情況。
·真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對樣品進(jìn)行預(yù)處理，并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進(jìn)行觀測。
·自動檢測和反饋系統(tǒng)，對樣品標(biāo)簽、位置狀態(tài)、樣品交接進(jìn)行監(jiān)控和記錄，可以清晰的了解樣品傳輸狀況。
3、激光聯(lián)用-超快電鏡
·超快電鏡利用激光、電場等外界刺激使樣品達(dá)到激發(fā)態(tài)。使用時間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電
鏡燈絲，產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進(jìn)而收集表面逸出的二次電子對激發(fā)瞬態(tài)進(jìn)行表征。
五、應(yīng)用案例
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