IPHEMOS-MP倒置光發(fā)射顯微鏡 C10506-06-16
- 公司名稱 司邁實(shí)科技(北京)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/5/9 15:03:41
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iPHEMOS-MP倒置微光顯微鏡是一款半導(dǎo)體失效分析系統(tǒng),通過檢測半導(dǎo)體裝置缺陷引起的微弱的光發(fā)射和熱發(fā)射來準(zhǔn)確定位半導(dǎo)體器件的失效位置。
利用其的倒置型設(shè)計(jì),能夠便捷地進(jìn)行樣品Backside觀察與分析,并可結(jié)合Tester進(jìn)行動態(tài)分析。
詳細(xì)參數(shù):
產(chǎn)品特點(diǎn):
● 同時(shí)加裝兩臺高靈敏度相機(jī),能夠同時(shí)完成光發(fā)射和熱發(fā)射偵測
● 設(shè)備可以加載多種激光
● 鏡頭切換轉(zhuǎn)塔可以加裝10種不同鏡頭
產(chǎn)品配置(可選配):
● 激光掃描系統(tǒng)
● 高靈敏度近紅外相機(jī)進(jìn)行光發(fā)射分析
(根據(jù)客戶樣品特點(diǎn)對不同波長范圍的光發(fā)射探測可以選配不同型號相機(jī),InGaAs, C-CCD, Si-CCD, Emmi-X)
● 高靈敏度中紅外Thermal相機(jī)進(jìn)行熱分析
● 激光誘導(dǎo)阻值變化分析(OBIRCH)
● D-lock in
● Thermal Lock in
● EOP/EOFM
● Tilt Stage
● Nano Lens 進(jìn)行高分辨率、高靈敏度分析
● Navigation功能
● 連接測試機(jī)進(jìn)行動態(tài)分析
● Laser Marker
連接示例:
外形尺寸: