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日本 Toho FLX-2320系列 薄膜應(yīng)力測試儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京中科復(fù)華科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 日本 Toho FLX-2320系列
  • 產(chǎn)地 日本
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2024/4/3 8:03:24
  • 訪問次數(shù) 858
產(chǎn)品標(biāo)簽

薄膜應(yīng)力測試薄膜測量

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北京中科復(fù)華科技有限公司是一家致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域和微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導(dǎo)體設(shè)備儀器和微納米科學(xué)儀器,擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過硬的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。   未來公司將不斷和引進(jìn)在微納米科學(xué)領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品,同時(shí)也與全國各所的大學(xué)、學(xué)院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系,致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作, 為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)?!?/span>

納米圖形發(fā)生器,離子束刻蝕/反應(yīng)離子刻蝕/感應(yīng)耦合等離子刻蝕 磁控濺射/氣相沉積/電子束蒸發(fā)鍍膜、ALD/MBE/MOCVD 光刻機(jī)、去膠設(shè)備等

技術(shù)參數(shù):

Toho FLX-2320-S薄膜應(yīng)力計(jì)精確測量多種襯底材料、金屬和電介質(zhì)等薄膜應(yīng)力。

 

主要特點(diǎn)

       ◆雙光源掃描(可見光激光源及不可見光激光源),系統(tǒng)可自動(dòng)選擇適合的匹配之激光源; 
       ◆系統(tǒng)內(nèi)置升溫、降溫模擬系統(tǒng),便于量測不同溫度下薄膜的應(yīng)力,溫度調(diào)節(jié)范圍為-65℃至500℃; 
       ◆自帶常用材料的彈性系數(shù)數(shù)據(jù)庫,并可根據(jù)客戶需要添加新型材料相關(guān)信息至數(shù)據(jù)庫,便于新材料研究; 
       ◆形象的軟件分析功能,用于不同測量記錄之間的比較,且測量記錄可導(dǎo)出成Excel等格式的文檔; 
       ◆具有薄膜應(yīng)力3D繪圖功能。

 

用戶界面:

WINDOWS OS易懂操作界面。

另搭載豐富的基板材料數(shù)據(jù)庫。自動(dòng)保存測量數(shù)據(jù)等方便性能。

每個(gè)用戶可分別設(shè)定訪問權(quán)限。使用自帶軟件實(shí)現(xiàn)簡單卻性能高,簡單測量




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