1. 公司背景

KOFLOC科賦樂是日本流量控制設(shè)備制造商，專注于質(zhì)量流量計（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應(yīng)用于半導體、光伏、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。

2. 技術(shù)優(yōu)勢

• 熱式技術(shù)（氣體）：

• 基于熱擴散原理，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）。

• 低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。

• 壓差式技術(shù)（液體）：

• 通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號。

• 耐腐蝕設(shè)計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。

• 智能功能：

• 數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

• 自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。

3. 典型應(yīng)用場景

3.1 半導體制造

• 案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。

• 要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時間＜1秒。

• 配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。

3.2 光伏產(chǎn)業(yè)

• 案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。

• 挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。

• 方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。

3.3 醫(yī)療設(shè)備

• 案例：呼吸機氧氣流量監(jiān)測（Mini系列）。

• 關(guān)鍵參數(shù)：0.1~10 SLM范圍，醫(yī)用級潔凈度（ISO 13485認證）。

3.4 化工流程

• 案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。

• 材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。

4. 選型與安裝指南

4.1 選型關(guān)鍵參數(shù)

1. 介質(zhì)類型：

• 氣體：需明確分子量（影響熱式傳感器校準）。

• 液體：考慮粘度（壓差式適用＜50 cP）。

2. 流量范圍：

• 實際流量應(yīng)處于量程的10%~90%（避免低端非線性區(qū)）。

3. 環(huán)境要求：

• 防爆（化工）、潔凈度（醫(yī)療）、IP防護等級（戶外）。

4.2 安裝注意事項

• 氣體流量計：

• 安裝方向：垂直向上（避免冷凝液積聚）。

• 前后直管段：≥5D（前）、≥3D（后）。

• 液體流量計：

• 避免氣泡干擾（頂部安裝排氣閥）。

• 泵振動隔離（軟管連接減震）。

4.3 校準與維護

• 定期校準：

• 氣體：使用皂膜流量計或標準氣體（如NIST可溯源）。

• 液體：稱重法或容積法校準。

• 傳感器維護：

• 熱式：每年清潔探頭（異丙醇擦拭）。

• 壓差式：檢查層流元件是否堵塞。