手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
窄帶紅外濾光片的核心性能指標是中心波長透過率（Tmax）與半高寬（FWHM）的平衡。在氣體檢測、熱成像等應用中，高透過率（>85%）與窄帶寬（<10nm）的協(xié)同優(yōu)化是技術難點。以下從材料、膜系設計、工藝控制三方面提出優(yōu)化策略：
一、材料選擇：匹配光譜需求
高折射率介質材料
采用硫系玻璃（如Ge-As-Se）或半導體薄膜（如ZnS、GaAs），其紅外吸收系數低（<0.01cm?¹），可減少光損耗。
案例：在8-12μm大氣窗口，Ge-As-Se玻璃的透過率較傳統(tǒng)石英玻璃提升20%。
低吸收基底材料
選用單晶硅、氟化鈣（CaF?）等低紅外吸收基底，避免基底對目標波段的能量吸收。
二、膜系設計：調控光譜特性
法布里-珀羅（F-P）干涉結構
通過多層高/低折射率膜層交替堆疊，形成窄帶干涉腔。
優(yōu)化參數：調整膜層厚度比（如nH/nL=1.8），控制FWHM至5-8nm。
吸收型窄帶濾光片
在介質膜中摻雜稀土元素（如Er³?），利用其特征吸收峰實現窄帶濾波。
優(yōu)勢：無需嚴格膜厚控制，適合大批量生產。
三、工藝控制：提升鍍膜質量
離子束輔助沉積（IBAD）
在鍍膜過程中引入離子束轟擊，增強膜層致密度，降低散射損耗。
效果：透過率提升5-10%，膜層應力降低40%。
溫度與真空度控制
鍍膜溫度控制在150-200℃，真空度優(yōu)于1×10?³Pa，減少氣體分子吸附導致的光吸收。
四、性能驗證與案例
測試方法：采用FTIR光譜儀檢測透過率，激光干涉儀測量膜層厚度。
案例：某氣體傳感器通過優(yōu)化膜系設計（F-P結構+IBAD工藝），將CO?檢測靈敏度提升至0.1ppm，同時透過率>88%。
通過材料、設計與工藝的協(xié)同優(yōu)化，窄帶紅外濾光片可實現高透過率與窄帶寬的雙重突破，滿足光譜應用需求。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心