場發(fā)射掃描電子顯微鏡的工作原理

來源：賽默飛電子顯微鏡 2024年09月08日 10:50

　　場發(fā)射掃描電子顯微鏡是一種利用高能電子束對樣品表面進行掃描，從而獲得高分辨率的圖像的儀器。其工作原理主要包括以下幾個步驟：

　　1、電子源：場發(fā)射掃描電子顯微鏡的電子源通常采用場發(fā)射電子槍。通過在尖銳的金屬施加高電壓，使得金屬產(chǎn)生強電場，從而使金屬內部的電子被拉出并加速。這種電子源產(chǎn)生的電子束具有高亮度、高相干性和小能量擴散等特點，有利于提高分辨率和信號強度。

　　2、電子透鏡系統(tǒng)：從發(fā)出的電子束經(jīng)過一系列的電磁透鏡和光闌進行聚焦和整形，形成直徑約為幾納米的高能電子束。這些透鏡系統(tǒng)包括物鏡、中間透鏡和投影透鏡等，它們的作用是調整電子束的大小、形狀和方向，使其能夠精確地照射到樣品表面。

　　3、掃描系統(tǒng)：經(jīng)過透鏡系統(tǒng)的電子束被掃描線圈控制，以一定的順序和速度在樣品表面進行掃描。掃描線圈產(chǎn)生的磁場可以改變電子束的方向，使其在樣品表面形成所需的掃描圖案。掃描過程中，電子束與樣品相互作用，產(chǎn)生各種信號。

　　4、信號檢測與成像：在掃描過程中，樣品表面產(chǎn)生的信號被相應的探測器收集。這些信號經(jīng)過放大、處理后，可以生成反映樣品表面形貌、成分和結構的圖像。

　　5、真空系統(tǒng)：為了保證電子束的穩(wěn)定性和防止樣品受到污染，需要在高真空環(huán)境下工作。真空系統(tǒng)包括真空泵、真空室和真空測量設備等，它們的作用是維持內部的高真空狀態(tài)。

　　總之，場發(fā)射掃描電子顯微鏡通過高亮度、高相干性的電子源，精確的電子透鏡系統(tǒng)，靈活的掃描系統(tǒng)以及高效的信號檢測與成像技術，實現(xiàn)了對樣品表面納米級分辨率的觀察和分析。這使得它在材料科學、生物學、地質學等領域具有廣泛的應用價值。

相關產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
本網(wǎng)轉載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。

精品国产亚洲国产亚洲,久热中文在线观看精品视频,成人三级av黄色按摩,亚洲AV无码乱码国产麻豆