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超聲波掃描顯微鏡是利用不同材料對(duì)超聲波聲阻抗不同、對(duì)聲波的吸收和反射程度不同，精準(zhǔn)探測(cè)半導(dǎo)體、元器件等目標(biāo)物的內(nèi)部結(jié)構(gòu)；能將采集的數(shù)據(jù)迅速轉(zhuǎn)變?yōu)榭捎眯畔?，同時(shí)還具備多種分析功能，可以幫助識(shí)別各種缺陷，并確定缺陷的嚴(yán)重程度。
超聲波掃描顯微鏡通過(guò)發(fā)射高頻超聲波傳遞到樣品內(nèi)部，在經(jīng)過(guò)兩種不同材質(zhì)之間界面時(shí)，由于不同材質(zhì)的聲阻抗不同，對(duì)聲波的吸收和反射程度的不同，進(jìn)而采集的反射或者穿透的超聲波能量信息或者相位信息的變化來(lái)檢查樣品內(nèi)部出現(xiàn)的分層、裂縫或者空洞等缺陷。
該產(chǎn)品可非破壞性或芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)；對(duì)粘結(jié)層面非常敏感；能穿透大多數(shù)的材料；淺表層結(jié)構(gòu)的分析；材料力學(xué)性能的檢測(cè)?？煞謱訏呙琛⒍鄬訏呙?，實(shí)施直觀的圖像及分析，缺陷的測(cè)量及缺陷面積和數(shù)量統(tǒng)計(jì)，可檢測(cè)各種缺陷(裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等)。
超聲波掃描顯微鏡能夠提供高分辨率的顯微結(jié)構(gòu)信息，對(duì)于科研和工業(yè)領(lǐng)域具有重要意義。
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