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OxfordRIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)PlasmaPro80是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統(tǒng)，可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。它易于放置，便于使用，且能確保工藝性能。直開式設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)快速晶圓裝卸，是研究和小批量生產(chǎn)的理想選擇。它通過優(yōu)化的電極冷卻和出色的襯底溫度控制來實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的工藝。
PlasmaPro80是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統(tǒng)，可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。它易于放置，便于使用，且能確保工藝性能。直開式設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)快速晶圓裝卸，是研究和小批量生產(chǎn)的理想選擇。它通過優(yōu)化的電極冷卻和出色的襯底溫度控制來實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的工藝。
●直開式設(shè)計(jì)允許快速裝卸晶圓
●出色的刻蝕控制和速率測定
●出色的晶圓溫度均勻性
●晶圓最大可達(dá)200mm
●購置成本低
●符合半導(dǎo)體行業(yè)S2/S8標(biāo)準(zhǔn)
系統(tǒng)特點(diǎn)
●小型系統(tǒng)——易于安置
●優(yōu)化的電極冷卻系統(tǒng)——襯底溫度控制
●高導(dǎo)通的徑向（軸對(duì)稱）抽氣結(jié)構(gòu)——確保能提升工藝均勻性和速率
●增加<500毫秒的數(shù)據(jù)記錄功能——可追溯腔室和工藝條件的歷史記錄
●近距離耦合渦輪泵——抽速高迅速達(dá)到所要求的低真空度
●關(guān)鍵部件容易觸及——系統(tǒng)維護(hù)變得直接簡單
●X20控制系統(tǒng)——大幅提高了數(shù)據(jù)信息處理能力，并且可以實(shí)現(xiàn)更快更可重復(fù)的匹配
●通過前端軟件進(jìn)行設(shè)備故障診斷——故障診斷速度快
●用干涉法進(jìn)行激光終點(diǎn)監(jiān)測——在透明材料的反射面上測量刻蝕深度（例如硅上的氧化物），或者用反射法來確定非透明材料（如金屬）的邊界
●用發(fā)射光譜（OES）實(shí)現(xiàn)較大樣品或批量工藝的終點(diǎn)監(jiān)測——監(jiān)測刻蝕副產(chǎn)物或反應(yīng)氣體的消耗量的變化，以及用于腔室清洗的終點(diǎn)監(jiān)測
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