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光學(xué)表面瑕疵檢測(cè)廣泛使用于布匹瑕疵檢測(cè)、工件表面質(zhì)量檢測(cè)、航空航天領(lǐng)域等。傳統(tǒng)的算法對(duì)規(guī)則缺陷以及場(chǎng)景比較簡(jiǎn)單的場(chǎng)合，能夠很好工作，但是對(duì)特征不明顯的、形狀多樣、場(chǎng)景比較混亂的場(chǎng)合，則不再適用。近年來(lái)，基于深度學(xué)習(xí)的識(shí)別算法越來(lái)越成熟，把深度學(xué)習(xí)算法應(yīng)用到工業(yè)場(chǎng)合中。
表面疵病作為一種加工過(guò)程中人為造成的微觀局部缺陷,對(duì)光學(xué)元件的表面性能有著輕微的影響,從而有可能造成光學(xué)儀器運(yùn)行錯(cuò)誤等嚴(yán)重的后果。總之,光學(xué)元件的表面疵病會(huì)對(duì)光學(xué)系統(tǒng)性能產(chǎn)生危害,其根本原因在于光的散射特性。
光學(xué)表面瑕疵檢測(cè)可避免以下危害：
(1)光束的質(zhì)量下降。元件表面缺陷處會(huì)產(chǎn)生光的散射效應(yīng),使得光束在通過(guò)缺陷后能量被大量消耗,從而降低了光束的質(zhì)量。
(2)缺陷的熱效應(yīng)現(xiàn)象。由于表面缺陷所處區(qū)域比其他區(qū)域容易吸收更多的能量,產(chǎn)生的熱效應(yīng)現(xiàn)象可能會(huì)使元件疵病發(fā)生局部變形、破壞膜層等,進(jìn)而危害整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)。
(3)損壞所處系統(tǒng)中其他光學(xué)元件。激光系統(tǒng)中,在強(qiáng)能量激光束的照射下,元件表面疵病產(chǎn)生的散射光會(huì)被系統(tǒng)內(nèi)的其他光學(xué)元件吸收,從而造成元件的受光不均勻,當(dāng)達(dá)到光學(xué)元件材料的損傷閥值時(shí),會(huì)使傳播光線的質(zhì)量受到影響,光學(xué)元件損壞,更有可能造成光學(xué)系統(tǒng)被嚴(yán)重的破壞。
(4)疵病會(huì)影響視場(chǎng)清潔。當(dāng)光學(xué)元件上有過(guò)多的疵病時(shí),會(huì)影響微觀的美觀度,另外,疵病還會(huì)殘留微小的灰塵、微生物、拋光粉等雜質(zhì),這將造成元件被腐蝕、生霉、生霧,會(huì)明顯影響元件的基本性能。
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