在LCD顯示屏組裝中，很多工藝都需要等離子體處理設備配合，如玻璃基材蒸鍍或濺鍍ITO膜前，由于玻璃表面很臟造成清洗困難，達不到清洗效果，而等離子體清洗機能有效的出除表面油脂、灰塵等污染物，使之達到超潔凈清洗目的；ITO玻璃涂覆光阻前采用等離子體處理設備能有效提高表面浸潤性、去除污染物、減少氣泡產品、去除圖形轉移后殘留的化學藥劑。LCD模組粘合工藝中去除溢膠等有機類污染物、偏光片、防指紋膜等貼合前表面清洗和活化。

等離子體(Plasma)被稱為是物質的第四態(tài);我們知道，給固態(tài)增加能量可使之成為液態(tài)，給液態(tài)增加能量可使之變成氣態(tài)，那么，給氣態(tài)增加能量則能變成等離子態(tài)。等離子體即電離了的”氣體”，它呈現出高度激發(fā)的不穩(wěn)定態(tài)，等離子體中存在下列物質:處于高速運動狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;分子解離反應過程中生成的紫外線;未反的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

plasma等離子清洗機就是利用這些高能粒子和活性粒子與材料表面發(fā)生物理或化學反的反應，從而達到表面清潔、激活、蝕刻、親水性、疏水性、低摩擦、易粘接、涂覆等各種表面改性目的。