拉曼光譜技術(shù)在材料科學(xué)研究中的應(yīng)用
拉曼光譜在材料科學(xué)中是物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究的有力工具,在相組成界面、晶界等課題中可以做很多工作。包括:
(1)薄膜結(jié)構(gòu)材料拉曼研究:拉曼光譜已成CVD(化學(xué)氣相沉積法)制備薄膜的檢測(cè)和鑒定手段。拉曼可以研究單、多、微和非晶硅結(jié)構(gòu)以及硼化非晶硅、氫化非晶硅、金剛石、類金剛石等層狀薄膜的結(jié)構(gòu)。
?。?)超晶格材料研究:可通過測(cè)量超晶格中的應(yīng)變層的拉曼頻移計(jì)算出應(yīng)變層的應(yīng)力,根據(jù)拉曼峰的對(duì)稱性,知道晶格的完整性。
?。?)半導(dǎo)體材料研究:拉曼光譜可測(cè)出經(jīng)離子注入后的半導(dǎo)體損傷分布,可測(cè)出半磁半導(dǎo)體的組分,外延層的質(zhì)量,外延層混品的組分載流子濃度。
?。?)耐高溫材料的相結(jié)構(gòu)拉曼研究。
?。?)全碳分子的拉曼研究。
(6)納米材料的量子尺寸效應(yīng)研究。
(1)薄膜結(jié)構(gòu)材料拉曼研究:拉曼光譜已成CVD(化學(xué)氣相沉積法)制備薄膜的檢測(cè)和鑒定手段。拉曼可以研究單、多、微和非晶硅結(jié)構(gòu)以及硼化非晶硅、氫化非晶硅、金剛石、類金剛石等層狀薄膜的結(jié)構(gòu)。
?。?)超晶格材料研究:可通過測(cè)量超晶格中的應(yīng)變層的拉曼頻移計(jì)算出應(yīng)變層的應(yīng)力,根據(jù)拉曼峰的對(duì)稱性,知道晶格的完整性。
?。?)半導(dǎo)體材料研究:拉曼光譜可測(cè)出經(jīng)離子注入后的半導(dǎo)體損傷分布,可測(cè)出半磁半導(dǎo)體的組分,外延層的質(zhì)量,外延層混品的組分載流子濃度。
?。?)耐高溫材料的相結(jié)構(gòu)拉曼研究。
?。?)全碳分子的拉曼研究。
(6)納米材料的量子尺寸效應(yīng)研究。
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