ULVAC日本愛發(fā)科螺桿型干式真空泵MS600A

ULVAC日本愛發(fā)科螺桿型干式真空泵MS600A

日本愛發(fā)科（ULVAC）螺桿型干式真空泵具有多種優(yōu)勢，以下為你詳細(xì)介紹：

產(chǎn)品特點(diǎn)高速排氣與低功耗：如 LS 系列通過螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，實(shí)現(xiàn)了兼顧高速排氣和低功耗的性能，在接近大氣壓時具有高抽速，能大幅縮短抽氣時間，同時采用 ECO - SHOCK 技術(shù)，顯著降低了功耗，在極限壓力下功耗可達(dá)行業(yè)的 0.6kW 或更低。

耐腐蝕性強(qiáng)：MS 系列等產(chǎn)品對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，可降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度，能適應(yīng)多種復(fù)雜工藝環(huán)境123。

排粉性能好：采用 ULVAC 設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸，實(shí)現(xiàn)了高性能的排粉，適用于有粉末產(chǎn)生的工藝，如半導(dǎo)體制造中的蝕刻、灰化等工藝。

運(yùn)行安靜平穩(wěn)：內(nèi)置消音器，噪音水平低，如 LS 系列噪音可控制在 61dB（A）或以下，同時運(yùn)行振動小，可提供安靜的工作環(huán)境。

全壓力范圍運(yùn)行：從大氣壓到極限壓力，可在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行，能滿足不同工藝階段對真空度的要求。

產(chǎn)品系列及應(yīng)用LS 系列：有多種型號，抽速范圍在 120 - 1200m3/h，根據(jù)用途分為 C 型（清潔工藝）和 L 型（輕工藝）。C 型適用于涉及空氣、氮?dú)獾惹鍧崥怏w的工藝，如濺射、氣相沉積、層壓、負(fù)載鎖定室等；L 型適用于涉及蒸汽和其他難處理氣體的工藝，如真空干燥、冷凍干燥、灰化、一般工業(yè)用途等。

MS 系列：是在 LS 系列基礎(chǔ)上改進(jìn)的工藝耐受型，抽速有 115m3/h（MS120A）、560m3/h（MS600A）和 980m3/h（MS1200A）等不同規(guī)格，極限壓力可達(dá) 0.1Pa 以下。應(yīng)用于半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)，如蝕刻設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等；真空熱處理爐的排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等；鋰電池制造設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫氣設(shè)備、注液設(shè)備等；醫(yī)療及食品相關(guān)設(shè)備，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。