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OPG550-INFICON英福康光學(xué)等離子體真空計
  • OPG550-INFICON英??倒鈱W(xué)等離子體真空計
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貨物所在地:浙江杭州市

更新時間:2024-08-21 17:13:59

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INFICON英??倒鈱W(xué)等離子體真空計是一款光學(xué)等離子體真空計,也可稱為光學(xué)氣體分析儀。

INFICON英福康光學(xué)等離子體真空計


INFICON Augent® 光學(xué)等離子體真空計是一種緊湊、智能的真空監(jiān)測解決方案。Augent將兩種傳感器技術(shù)結(jié)合到一個緊湊的設(shè)備中,用于監(jiān)測1 x 10-75 mbar的氣體類型,并同時測量從1 x 10-7 mbar到大氣的總壓力。


Augent由一個集成的皮拉尼傳感器保護(hù),用于關(guān)閉20mbar以上的等離子體。快速光學(xué)測量原理原則上允許檢測任何類型的氣體。


優(yōu)勢

l 高速檢漏,可進(jìn)行腔體檢漏

l 提高生產(chǎn)率和產(chǎn)量

l 壽命長,不燒絲,有氣涌保護(hù)

l 可承受工藝化學(xué)反應(yīng)

l 智能算法,易于集成

l 設(shè)計緊湊,占地面積小

l 可靠、快速啟動


典型應(yīng)用

l 腔體泄漏檢查,更快的RoR(上升率)測試

l 泄漏檢查,發(fā)現(xiàn)氣體供應(yīng)管道的內(nèi)部泄漏

l 實時終端控制

l 氣體類型和濃度控制


INFICON英???/span>光學(xué)等離子體真空計

規(guī)格

測量范圍 N2

毫巴

1×10-7 5

(7.6×10-8 3.8)

精度 總壓力讀數(shù) N2

1 x 10-7 ... 100 毫巴

讀數(shù)百分比

30

100 ... 1000 毫巴

讀數(shù)百分比

50

N2 總壓力讀數(shù)的重復(fù)性

1 x 10-7 ... 100 毫巴

讀數(shù)百分比

5

溫度

運(yùn)行(環(huán)境)

°C

+5 +50

存儲

°C

-20 +70

帶電子裝置的法蘭處烘干

°C

<80

法蘭處烘干(不含電子裝置)

°C

<120

電源電壓

壓力表

伏(直流)

+14.5 +30

波紋

伏(p-p

1

耗電量

W

5

連接保險絲

AT

1

暴露在真空中的材料

一般材料

一般材料

Al2O3, 不銹鋼 1.4435

陽極

陽極

電離室

電離室

鈦,不銹鋼 1.4016

點(diǎn)火器

點(diǎn)火器

不銹鋼 1.4310




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