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CDG025D
電容薄膜真空規(guī)INFICON (英?？担?/strong>
CDG025D電容薄膜真空規(guī),屬于INFICON薄膜規(guī)系列。測量精度可達：0.2%（讀數精度）、自帶溫度補功能，可以在惡劣的生產加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。自帶一鍵歸零功能和設定點調整功能。選用防腐蝕陶瓷傳感器可應用于耐腐性真空環(huán)境。再腐蝕性環(huán)境中也能保持良好的零點穩(wěn)定性；預計壽命可達到數百萬個加壓循環(huán)，包括突發(fā)大氣壓。傳感器屏蔽（已申請zhuanli）可防止儀表被過程污染。堅固的機械設計和數字電子元件可有效過濾電磁干擾，保持長期的穩(wěn)定測量。
技術特點：
從 100 mTorr 至 1000 Torr 滿量程可選
電源接通后快速穩(wěn)定
暴露于大氣壓后快速恢復
可選防腐蝕陶瓷傳感器
電磁屏蔽技術保持信號的長期溫度
具有溫度補償
傳感器受防污染保護功能（已申請zhuanli）
一鍵調零功能
典型應用：
用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導體制造設備
數據存儲和顯示器制造設備
工業(yè)真空設備
高度精確的壓力測量控制
電容薄膜真空規(guī)INFICON (英?？担?/strong>
技術參數：
參數 | 單位 | 參數值 | ||
Full scale (FS) 滿量程可選范圍 | Torr / mbar | 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar | ||
精度 | % of reading | 0.2%讀數精度 | ||
分辨率 | percent FS | 0.003% | ||
Lowest reading zui低讀數 | 0.01 % FS（滿量程的） | |||
suggested Reading 建議參考讀數 | 0.05 % FS （滿量程的） | |||
Control pressure 控制壓強時建議讀數范圍 | 0.5 % FS （滿量程的） | |||
輸出信號（模擬） | V (dc) | 0 … +10V | ||
Supply voltage (dc) 供電電源 | V (dc) | +14 ... +30 V | ||
Power consumption 功率 | ≤1 W | |||
響應時間 | ms | 30 | ||
Temperature溫度 | ||||
Operation (ambient) 操作溫度 | °C | +5 ... +50 °C | ||
Bakeout(at flange3) 環(huán)境溫度（在法蘭） | °C | ≤110 °C | ||
Storage 儲藏溫度 | °C | –40 ... +65 °C | ||
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass | |||
Degree of protection 防護等級 | IP 30 |
尺寸圖
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