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PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥（V73系列）

V73雙層傳輸閥適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD，通過(guò)單軸氣動(dòng)執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)閘門L形運(yùn)動(dòng)的技術(shù)。在L形運(yùn)動(dòng)中，閘門垂直移動(dòng)到關(guān)閉位置，與閥體沒(méi)有任何接觸，在最后的運(yùn)動(dòng)中，它被水平推到閥座上，密封件以與連接的氣壓相關(guān)的固定力接觸閥座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產(chǎn)生，還最大限度地減少了密封磨損。

為了盡量減少顆粒的產(chǎn)生和活化，閘門配備了插入式O型圈密封，硫化密封是一種選擇。這是一種比標(biāo)準(zhǔn)O型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，盡管標(biāo)準(zhǔn)O型環(huán)密封也是可選的。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

在電源故障的情況下，V73可以機(jī)械鎖定在關(guān)閉位置。

V73系列已經(jīng)安裝在各種半導(dǎo)體、太陽(yáng)能和工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中的數(shù)百個(gè)要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其出色的可靠性。憑借堅(jiān)固的設(shè)計(jì)以及減少和易于維護(hù)，V73系列在各個(gè)方面都令人信服。

V73雙層傳輸閥始終根據(jù)客戶規(guī)格量身定制。然而，預(yù)定義了四種基本設(shè)計(jì)類型：兩種具有不同后側(cè)開口的閥門類型和兩種具有內(nèi)腔或外腔閥座的插入式閥門類型。

閥體材料選項(xiàng)包括鋁、硬質(zhì)陽(yáng)極氧化、鍍鎳或不銹鋼。閘門和閥蓋密封采用FKM或FFKM。其他密封材料可應(yīng)要求提供。

特征：

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）

l低振動(dòng)。獲得認(rèn)證的L形運(yùn)動(dòng)連桿和執(zhí)行器中無(wú)彈簧的雙換檔可實(shí)現(xiàn)更快的速度

l更平穩(wěn)的氣動(dòng)執(zhí)行器

l機(jī)械鎖處于關(guān)閉位置

優(yōu)點(diǎn)：

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計(jì)有固定器，以防止拆卸時(shí)螺栓脫落

應(yīng)用：

l半導(dǎo)體加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽(yáng)能電池板的制造

lLCD/平板工藝

l所有其他集群真空系統(tǒng)

PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥（V73系列）

技術(shù)參數(shù)