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泵軸位置	臥式	抽氣量	見參數(shù)
輸送介質(zhì)	其他	外形尺寸	見參數(shù)
葉輪數(shù)目	單級	應用領域	石油,能源,電子/電池,電氣,綜合
最大工作壓強	見參數(shù)

進口EBARA荏原型大腔體用氣體真空泵

可排氣氫氣等輕質(zhì)氣體的干式真空泵/大室高速排氣

產(chǎn)品介紹

ESA型有適合排出氫氣等輕質(zhì)氣體的排量1,400L/min～10,000L/min的型號，以及適合排氣的20,000L/min～80,000L/min的排量型號。適合大型腔體的高速排氣。 10,000L/min 或更低型號適用于輕質(zhì)氣體排氣，設計緊湊，并提供耐腐蝕材料選項，非常適合 MO-CVD 等高流量輕質(zhì)氣體排氣應用。大型機型在大排量的情況下仍能實現(xiàn)安靜的噪音和低振動，并且還可以選擇有機溶劑排氣，使其成為液晶濺射設備、真空干燥工藝、大型負載鎖等的理想選擇。

荏原株式會社（以下簡稱“荏原"）精機電子公司藤澤工廠今年5月干式真空泵累計出貨量達到15萬臺。這是自1986年第一臺機器發(fā)貨以來，時隔32年取得的成就。

直到 20 世紀 80 年代，油旋轉(zhuǎn)泵一直是半導體制造工藝中使用的主流真空泵，但隨著對更清潔的真空環(huán)境的需求隨著集成度的提高而增加，我們應用了我們的核心競爭力——旋轉(zhuǎn)機械技術，我們已經(jīng)將干式真空商業(yè)化。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵。我們的干式真空泵不僅能產(chǎn)生潔凈的真空，而且采用非接觸式密封結(jié)構(gòu)，減少了維護頻率。利用這些功能，應用目前已從半導體和顯示器制造擴展到太陽能電池、LED、鋰離子二次電池和各種分析設備等廣泛的行業(yè)。

根據(jù)中期管理計劃（E-Plan2019）的措施，荏原將在2019年之前啟動生產(chǎn)效率大幅提高的干式真空泵全自動化工廠，深化與海外生產(chǎn)基地的合作，并繼續(xù)響應半導體市場的穩(wěn)定需求和各領域客戶的要求。

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