EBARA荏原高速排氣用ESA25-D干式真空泵

EBARA荏原高速排氣用ESA25-D干式真空泵

可排氣氫氣等輕質(zhì)氣體的干式真空泵/大室高速排氣

產(chǎn)品介紹

荏原株式會(huì)社（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“荏原"）精機(jī)電子公司藤澤工廠(chǎng)今年5月干式真空泵累計(jì)出貨量達(dá)到15萬(wàn)臺(tái)。這是自1986年第一臺(tái)機(jī)器發(fā)貨以來(lái)，時(shí)隔32年取得的成就。

直到 20 世紀(jì) 80 年代，油旋轉(zhuǎn)泵一直是半導(dǎo)體制造工藝中使用的主流真空泵，但隨著對(duì)更清潔的真空環(huán)境的需求隨著集成度的提高而增加，我們應(yīng)用了我們的核心競(jìng)爭(zhēng)力——旋轉(zhuǎn)機(jī)械技術(shù)，我們已經(jīng)將干式真空商業(yè)化。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵。我們的干式真空泵不僅能產(chǎn)生潔凈的真空，而且采用非接觸式密封結(jié)構(gòu)，減少了維護(hù)頻率。利用這些功能，應(yīng)用目前已從半導(dǎo)體和顯示器制造擴(kuò)展到太陽(yáng)能電池、LED、鋰離子二次電池和各種分析設(shè)備等廣泛的行業(yè)。

根據(jù)中期管理計(jì)劃（E-Plan2019）的措施，荏原將在2019年之前啟動(dòng)生產(chǎn)效率大幅提高的干式真空泵全自動(dòng)化工廠(chǎng)，深化與海外生產(chǎn)基地的合作，并繼續(xù)響應(yīng)半導(dǎo)體市場(chǎng)的穩(wěn)定需求和各領(lǐng)域客戶(hù)的要求。