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簡(jiǎn)單的齒輪齒條驅(qū)動(dòng)提供了*的可靠性。 在真空閥中，孔的電導(dǎo)性能*。
01. 由于閥門(mén)開(kāi)度可在 0 度 ~ 45 度和 90 度（全開(kāi)）兩個(gè)位置作， 單個(gè)閥可用于慢速排氣和高速排氣。
02. 除了通常的全閉（Fully Closed）和全開(kāi)（Fully open）氣缸外， 兩級(jí)氣缸，閥開(kāi)度可在 0 度 ~ 45 度范圍內(nèi)任意設(shè)定 結(jié)構(gòu)。
03.氣缸雖然小，但打開(kāi)時(shí)推力加倍（運(yùn)行可靠），行程結(jié)束時(shí)具有氣墊效果（減震）。
04. 關(guān)閉時(shí)，閥體密封。
05. 對(duì)安裝姿勢(shì)或安裝方向沒(méi)有限制。
06. 表面空間薄，電導(dǎo)性能優(yōu)異。
07. 在無(wú)塵室中組裝和檢查。
| 法蘭格式 | JIS、ISO、KF（NW）、CF |
|---|---|
| 口徑 | 25A ~ 350A |
| 泄漏量 | 1×10-9 帕米3/s 或更低 |
| 使用區(qū)域 | 105~10-5 帕 |
| 氣體接觸材料 | SUS304型 |
| 盤(pán)式密封 | 氟橡膠 O 型圈 |
| 軸封 | 氟橡膠 O 型圈 |
| 工作氣壓 | 0.4~0.6 MPaG |
| 開(kāi)/關(guān)指示 | 帶微動(dòng)開(kāi)關(guān)（用于打開(kāi)/關(guān)閉每個(gè)位置的檢測(cè)） |
* 也可制造特殊規(guī)格。
* 此規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
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